Žulové komponenty boli široko používané v procese výroby polovodičov vďaka svojim vynikajúcim vlastnostiam, ako je vynikajúca povrchová úprava, vysoká tuhosť a vynikajúce tlmenie vibrácií.Žulové komponenty sú nevyhnutné pre zariadenia na výrobu polovodičov, vrátane litografických strojov, leštiacich strojov a metrologických systémov, pretože poskytujú presné polohovanie a stabilitu počas výrobného procesu.Napriek všetkým výhodám použitia žulových komponentov majú aj chyby.V tomto článku budeme diskutovať o defektoch žulových komponentov pre produkty výrobného procesu polovodičov.
Po prvé, žulové komponenty majú vysoký koeficient tepelnej rozťažnosti.To znamená, že sa pri tepelnom namáhaní výrazne rozťahujú, čo môže spôsobiť problémy počas výrobného procesu.Proces výroby polovodičov vyžaduje vysokú presnosť a rozmerovú presnosť, ktorá by mohla byť ohrozená v dôsledku tepelného namáhania.Napríklad deformácia kremíkovej dosky v dôsledku tepelnej rozťažnosti by mohla spôsobiť problémy so zarovnaním počas litografie, čo by mohlo ohroziť kvalitu polovodičového zariadenia.
Po druhé, žulové komponenty majú defekty pórovitosti, ktoré by mohli spôsobiť úniky vákua v procese výroby polovodičov.Prítomnosť vzduchu alebo akéhokoľvek iného plynu v systéme by mohla spôsobiť kontamináciu povrchu doštičky, čo by malo za následok chyby, ktoré by mohli ovplyvniť výkon polovodičového zariadenia.Inertné plyny, ako je argón a hélium, by mohli preniknúť do poréznych žulových komponentov a vytvárať bubliny plynu, ktoré by mohli narušiť integritu vákuového procesu.
Po tretie, žulové komponenty majú mikrofraktúry, ktoré by mohli narušiť presnosť výrobného procesu.Žula je krehký materiál, ktorý by mohol časom vytvoriť mikrofraktúry, najmä ak je vystavený konštantným cyklom stresu.Prítomnosť mikrofraktúr by mohla viesť k rozmerovej nestabilite, čo by mohlo spôsobiť značné problémy počas výrobného procesu, ako je zarovnanie litografie alebo leštenie plátkov.
Po štvrté, žulové komponenty majú obmedzenú flexibilitu.Proces výroby polovodičov vyžaduje flexibilné vybavenie, ktoré by sa mohlo prispôsobiť rôznym procesným zmenám.Žulové komponenty sú však tuhé a nedokážu sa prispôsobiť rôznym procesným zmenám.Akékoľvek zmeny vo výrobnom procese si preto vyžadujú odstránenie alebo výmenu žulových komponentov, čo vedie k prestojom a ovplyvňuje produktivitu.
Po piate, žulové komponenty vyžadujú špeciálnu manipuláciu a prepravu kvôli ich hmotnosti a krehkosti.Žula je hustý a ťažký materiál, ktorý si vyžaduje špeciálne manipulačné vybavenie, ako sú žeriavy a zdvíhadlá.Okrem toho žulové komponenty vyžadujú starostlivé balenie a prepravu, aby sa zabránilo poškodeniu počas prepravy, čo vedie k dodatočným nákladom a času.
Záverom možno povedať, že žulové komponenty majú určité nevýhody, ktoré by mohli ovplyvniť kvalitu a produktivitu produktov procesu výroby polovodičov.Tieto chyby je možné minimalizovať starostlivým zaobchádzaním a údržbou žulových komponentov, vrátane pravidelnej kontroly mikrofraktúr a defektov pórovitosti, správnym čistením, aby sa zabránilo kontaminácii, a starostlivým zaobchádzaním počas prepravy.Napriek chybám zostávajú žulové komponenty dôležitou súčasťou procesu výroby polovodičov vďaka ich vynikajúcej povrchovej úprave, vysokej tuhosti a vynikajúcemu tlmeniu vibrácií.
Čas odoslania: 5. decembra 2023