Žulové komponenty sa široko používajú v procese výroby polovodičov vďaka svojim vynikajúcim vlastnostiam, ako je vynikajúca povrchová úprava, vysoká tuhosť a vynikajúce tlmenie vibrácií. Žulové komponenty sú nevyhnutné pre zariadenia na výrobu polovodičov vrátane litografických strojov, leštiacich strojov a metrologických systémov, pretože poskytujú presné polohovanie a stabilitu počas výrobného procesu. Napriek všetkým výhodám použitia žulových komponentov majú aj nedostatky. V tomto článku sa budeme venovať nedostatkom žulových komponentov pre produkty z procesu výroby polovodičov.
Po prvé, žulové komponenty majú vysoký koeficient tepelnej rozťažnosti. To znamená, že sa pri tepelnom namáhaní výrazne rozťahujú, čo by mohlo spôsobiť problémy počas výrobného procesu. Proces výroby polovodičov vyžaduje vysokú presnosť a rozmerovú presnosť, ktoré by mohli byť v dôsledku tepelného namáhania ohrozené. Napríklad deformácia kremíkových doštičiek v dôsledku tepelnej rozťažnosti by mohla spôsobiť problémy so zarovnaním počas litografie, čo by mohlo ohroziť kvalitu polovodičového zariadenia.
Po druhé, žulové komponenty majú defekty pórovitosti, ktoré by mohli spôsobiť úniky vákua v procese výroby polovodičov. Prítomnosť vzduchu alebo akéhokoľvek iného plynu v systéme by mohla spôsobiť kontamináciu povrchu doštičky, čo by malo za následok defekty, ktoré by mohli ovplyvniť výkon polovodičového zariadenia. Inertné plyny, ako je argón a hélium, by mohli preniknúť do pórovitých žulových komponentov a vytvoriť plynové bubliny, ktoré by mohli narušiť integritu procesu vákuovania.
Po tretie, žulové komponenty majú mikropraskliny, ktoré by mohli narušiť presnosť výrobného procesu. Žula je krehký materiál, ktorý by mohol časom vytvoriť mikropraskliny, najmä ak je vystavený konštantným cyklom namáhania. Prítomnosť mikroprasklín by mohla viesť k rozmerovej nestabilite, čo by spôsobilo značné problémy počas výrobného procesu, ako je napríklad zarovnanie litografie alebo leštenie doštičiek.
Po štvrté, žulové komponenty majú obmedzenú flexibilitu. Proces výroby polovodičov vyžaduje flexibilné zariadenia, ktoré by sa dokázali prispôsobiť rôznym zmenám procesu. Žulové komponenty sú však pevné a nedokážu sa prispôsobiť rôznym zmenám procesu. Preto akékoľvek zmeny vo výrobnom procese vyžadujú odstránenie alebo výmenu žulových komponentov, čo vedie k prestojom a ovplyvňuje produktivitu.
Po piate, žulové komponenty si vyžadujú špeciálnu manipuláciu a prepravu kvôli svojej hmotnosti a krehkosti. Žula je hustý a ťažký materiál, ktorý vyžaduje špecializované manipulačné zariadenia, ako sú žeriavy a zdvíhače. Okrem toho žulové komponenty vyžadujú starostlivé balenie a prepravu, aby sa predišlo poškodeniu počas prepravy, čo vedie k dodatočným nákladom a času.
Záverom možno povedať, že žulové komponenty majú určité nevýhody, ktoré by mohli ovplyvniť kvalitu a produktivitu produktov z procesu výroby polovodičov. Tieto chyby by sa dali minimalizovať starostlivou manipuláciou a údržbou žulových komponentov vrátane pravidelnej kontroly mikrotrhlín a defektov pórovitosti, správneho čistenia, aby sa zabránilo kontaminácii, a starostlivej manipulácie počas prepravy. Napriek týmto chybám zostávajú žulové komponenty dôležitou súčasťou procesu výroby polovodičov vďaka svojej vynikajúcej povrchovej úprave, vysokej tuhosti a vynikajúcemu tlmeniu vibrácií.
Čas uverejnenia: 5. decembra 2023