Žulové komponenty sa v procese výroby polovodičov široko používajú kvôli ich vynikajúcim charakteristikám, ako je vynikajúca povrchová úprava, vysoká tuhosť a vynikajúce tlmení vibrácií. Žulové komponenty sú nevyhnutné pre zariadenia na výrobu polovodičov vrátane litografických strojov, leštiacich strojov a metrologických systémov, pretože počas výrobného procesu poskytujú presné umiestnenie a stabilitu. Napriek všetkým výhodám používania žulových komponentov majú aj defekty. V tomto článku budeme diskutovať o defektoch žulových komponentov pre výrobky výroby polovodičov.
Po prvé, žulové komponenty majú vysoký koeficient tepelnej expanzie. To znamená, že sa výrazne rozširujú pod tepelným stresom, čo by mohlo spôsobiť problémy počas výrobného procesu. Výrobný proces polovodičov si vyžaduje vysokú presnosť a rozmerovú presnosť, ktorá by mohla byť ohrozená v dôsledku tepelného napätia. Napríklad deformácia kremíkových doštičiek v dôsledku tepelnej expanzie by mohla spôsobiť problémy so zarovnaním počas litografie, čo by mohlo ohroziť kvalitu polovodičového zariadenia.
Po druhé, zložky žuly majú defekty pórovitosti, ktoré by mohli spôsobiť úniky vákua v procese výroby polovodičov. Prítomnosť vzduchu alebo akéhokoľvek iného plynu v systéme by mohla spôsobiť kontamináciu na povrchu oblátky, čo by malo za následok defekty, ktoré by mohli ovplyvniť výkon polovodičového zariadenia. Inertné plyny, ako je argón a hélium, by mohli preniknúť do pórovitých žulových komponentov a vytvoriť plynové bubliny, ktoré by mohli narušiť integritu vákuového procesu.
Po tretie, zložky žuly majú mikrofraktúry, ktoré by mohli interferovať s presnosťou výrobného procesu. Žula je krehký materiál, ktorý by mohol v priebehu času vyvinúť mikrofraktúry, najmä ak je vystavená konštantným stresovým cyklom. Prítomnosť mikrofraktúr by mohla viesť k rozmerovej nestabilite, ktorá by spôsobila významné problémy počas výrobného procesu, ako je vyrovnanie litografie alebo leštenie doštičiek.
Po štvrté, žulové komponenty majú obmedzenú flexibilitu. Výrobný proces polovodičov vyžaduje flexibilné vybavenie, ktoré by mohlo prispôsobiť rôzne zmeny procesu. Žulové komponenty sú však rigidné a nemôžu sa prispôsobiť rôznym zmenám v procese. Preto akékoľvek zmeny vo výrobnom procese si vyžadujú odstránenie alebo výmenu komponentov žuly, čo vedie k prestojom a ovplyvňujúce produktivitu.
Po piate, žulové komponenty vyžadujú špeciálnu manipuláciu a prepravu kvôli ich hmotnosti a krehkosti. Žula je hustý a ťažký materiál, ktorý vyžaduje špecializované manipulácie, ako sú žeriavy a zdviháky. Žulové komponenty navyše vyžadujú starostlivé balenie a prepravu, aby sa zabránilo poškodeniu počas prepravy, čo vedie k dodatočným nákladom a časom.
Záverom je, že žulové komponenty majú niektoré nevýhody, ktoré by mohli ovplyvniť kvalitu a produktivitu výrobkov výroby polovodičov. Tieto defekty by sa dali minimalizovať starostlivou manipuláciou a udržiavaním žulových komponentov vrátane periodickej kontroly mikrofraktúr a defektov pórovitosti, správneho čistenia, aby sa zabránilo kontaminácii, a starostlivej manipulácie počas prepravy. Napriek defektom zostávajú žulové komponenty životne dôležitou súčasťou procesu výroby polovodičov kvôli ich vynikajúcej povrchovej úprave, vysokej stuhnutosti a vynikajúceho tlmenia vibrácií.
Čas príspevku: december-05-2023