Je presná žula najlepším materiálom pre polovodičové litografické komponenty?

Vďaka svojej nemagnetickej povahe, vysokej tuhosti a takmer nulovej tepelnej rozťažnosti je Precision Granite nevyhnutným materiálom na zabezpečenie presnosti na úrovni nanometrov v litografii a metrológii.

Nemagnetická a chemická stabilita

Vo vysoko intenzívnom elektromagnetickom prostredí výroby polovodičov,Žulové komponentyzabraňujú rušeniu vďaka svojim nemagnetickým vlastnostiam. Žula je navyše chemicky inertná a neuvoľňuje plyny ani neprodukuje častice, vďaka čomu je ideálna pre prostredie čistých priestorov triedy ISO 1.

Maximálna fyzická tuhosť a odolnosť voči tečeniu

Čierna žula s vysokou hustotou, ktorú vybrala spoločnosť ZHHIMG, ponúka extrémnu tvrdosť. Pri dlhodobom zaťažení prakticky nevykazuje žiadne fyzické tečenie, čím poskytuje trvalý stabilný základ pre XY stoly a zaisťuje konzistentnú opakovateľnú presnosť polohovania počas rokov prevádzky.

Prirodzená výhoda v tepelnej rozťažnosti

Polovodičové procesy sú mimoriadne citlivé na teplo. Nízky koeficient tepelnej rozťažnosti žuly kompenzuje teplo generované presnými motormi. V kombinácii s naším vysoko presným obrábaním to zabezpečuje, že si súčiastky zachovávajú svoju geometrickú integritu pri rôznych prevádzkových teplotách.

Žulové komponenty s vysokou stabilitou

Matica výkonnosti materiálu

Nehnuteľnosť Čierna žula (Jinan Black) Pokročilá keramika Hliníková zliatina
Hustota (g/cm³) 3,07 3,6 – 3,9 2,7
Modul pružnosti (GPa) 95 – 100 300+ 70
Tepelná rozťažnosť 5,0 – 7,0 (10⁻⁶/K) 4,0 – 8,0 23,0

Často kladené otázky: Presná žula

  1. Prečo si vybrať „čiernu“ žulu? Má vyššiu hustotu, nižšiu nasiakavosť a lepšiu stabilitu ako sivá žula.

  2. Aké presné triedy ponúkate? Vyrábame podľa noriem DIN 876 triedy 000.

  3. Aká je maximálna veľkosť? ZHHIMG dokáže spracovať jednotlivé kusy s dĺžkou až 12 metrov.

  4. Ako mám udržiavať žulové komponenty? Používajte špeciálne čistiace prostriedky s neutrálnym pH a vyhýbajte sa kontaktu s kyslými látkami.

  5. Viete vŕtať otvory pre vložky? Áno, poskytujeme presné vŕtanie a sekundárne lepenie pre vložky z nehrdzavejúcej ocele.

  6. Je vhodná na použitie vo vákuu? Prírodná žula sa vo vákuu určite neuvoľňuje.


Čas uverejnenia: 29. mája 2026