Žula je tvrdý a odolný materiál, ktorý sa často používa v stavebníctve.Má však aj vlastnosti, vďaka ktorým je užitočný pri výrobe polovodičov, najmä pri výrobe a spracovaní integrovaných obvodov.Žulové komponenty, ako sú žulové stoly a žulové bloky, sú široko používané pre svoju stabilitu, rovinnosť a nízky koeficient tepelnej rozťažnosti.
Jedným z primárnych použití žulových komponentov pri výrobe polovodičov je proces výroby.Kremíkové doštičky, základné stavebné bloky integrovaných obvodov, musia byť vyrobené s vysokou presnosťou a presnosťou.Akékoľvek skreslenie alebo pohyb počas procesu môže viesť k poruchám, ktoré môžu ovplyvniť kvalitu a funkčnosť integrovaných obvodov.Žulové stoly so svojou vysokou stabilitou a rovinnosťou poskytujú dobrú platformu pre zariadenie na spracovanie plátkov.Sú tiež odolné voči tepelnej rozťažnosti a kontrakcii spôsobenej zahrievaním a chladením, ktoré je potrebné v procese.
Žulové bloky sa pre svoju tepelnú stabilitu používajú aj pri spracovaní polovodičov.Počas procesov leptania alebo nanášania sa na úpravu povrchu kremíkového plátku používajú horúce plyny alebo plazma.Teplotu oblátky je potrebné kontrolovať, aby sa zabezpečilo, že proces bude vykonaný efektívne a presne.Žulové bloky svojim nízkym koeficientom tepelnej rozťažnosti pomáhajú stabilizovať teplotu plátku, čím znižujú riziko kolísania teploty, ktoré by mohlo ovplyvniť kvalitu spracovávaného materiálu.
Okrem výrobných a spracovateľských procesov sa žulové komponenty používajú aj v metrológii a kontrolných fázach výroby polovodičov.Metrologické merania sa vykonávajú, aby sa zabezpečilo, že veľkosť, tvar a poloha štruktúr na plátku sú v rámci požadovaných špecifikácií.Žulové bloky sa pri týchto meraniach používajú ako referenčné štandardy kvôli ich rozmerovej stabilite a presnosti.Používajú sa aj pri kontrolných stupňoch, kde sa pri veľkom zväčšení kontroluje kvalita integrovaných obvodov.
Celkovo sa používanie žulových komponentov pri výrobe polovodičov v posledných rokoch zvýšilo.Potreba vysokej presnosti, presnosti a stability pri výrobe a spracovaní integrovaných obvodov podnietila prijatie týchto materiálov výrobcami polovodičov.Jedinečné vlastnosti žuly, ako je jej tvrdosť, stabilita a nízky koeficient tepelnej rozťažnosti, z nej robia vynikajúcu voľbu pre použitie v týchto procesoch.S pokračujúcim vývojom a zdokonaľovaním polovodičovej technológie sa očakáva, že používanie žulových komponentov bude v budúcnosti ďalej rásť.
Čas odoslania: 5. decembra 2023