Žula je tvrdý a odolný materiál, ktorý sa často používa v stavebníctve. Má však aj vlastnosti, vďaka ktorým je užitočná pri výrobe polovodičov, najmä pri výrobe a spracovaní integrovaných obvodov. Žulové zložky, ako sú žulové stoly a žulové bloky, sa široko používajú na svoju stabilitu, rovinnosť a nízku tepelnú expanznú koeficient.
Jedným z primárnych použití žulových komponentov vo výrobe polovodičov je proces výroby. Kremíkové doštičky, základné stavebné bloky integrovaných obvodov, je potrebné vyrábať s vysokou presnosťou a presnosťou. Akékoľvek skreslenie alebo pohyb počas procesu môže viesť k defektom, ktoré môžu ovplyvniť kvalitu a funkčnosť integrovaných obvodov. Žulové stoly s vysokou stabilitou a rovinnosťou poskytujú dobrú platformu pre vybavenie na spracovanie oblátok. Sú tiež odolné voči tepelnej expanzii a kontrakcii spôsobenej zahrievaním a chladením potrebným v procese.
Žulové bloky sa tiež používajú pri spracovaní polovodičov pre svoju tepelnú stabilitu. Počas leptania alebo depozičných procesov sa horúce plyny alebo plazmy používajú na modifikáciu povrchu kremíkovej doštičky. Teplota oblátky je potrebné kontrolovať, aby sa zabezpečilo, že proces sa vykonáva efektívne a presne. Žulové bloky s nízkym koeficientom rozširovania tepelnej expanzie pomáhajú stabilizovať teplotu oblátky, čím sa znižuje riziko kolísania teploty, ktoré by mohli ovplyvniť kvalitu spracovaného materiálu.
Okrem procesov výroby a spracovania sa v metrologických a inšpekčných štádiách výroby polovodičov používajú aj žulové komponenty. Uskutočnia sa metrologické merania, aby sa zabezpečilo, že veľkosť, tvar a poloha štruktúr na oblátku sú v rámci požadovaných špecifikácií. Žulové bloky sa v týchto meraniach používajú ako referenčné štandardy z dôvodu ich rozmerovej stability a presnosti. Používajú sa tiež v inšpekčných fázach, kde sa kvalita integrovaných obvodov kontroluje pri vysokom zväčšení.
Celkovo sa v posledných rokoch zvýšilo použitie žulových komponentov v výrobe polovodičov. Potreba vysokej presnosti, presnosti a stability pri výrobe a spracovaní integrovaných obvodov viedla k prijatiu týchto materiálov výrobcami polovodičov. Unikátne vlastnosti žuly, ako je jej tvrdosť, stabilita a koeficient nízkej tepelnej expanzie, z neho robia vynikajúcu voľbu pre použitie v týchto procesoch. S pokračujúcim vývojom a zlepšovaním technológie polovodičov sa očakáva, že v budúcnosti bude využívanie žulových komponentov ďalej rásť.
Čas príspevku: december-05-2023