Žula je tvrdý a odolný materiál, ktorý sa často používa v stavebníctve. Má však aj vlastnosti, vďaka ktorým je užitočná pri výrobe polovodičov, najmä pri výrobe a spracovaní integrovaných obvodov. Žulové komponenty, ako sú žulové stoly a žulové bloky, sa hojne používajú pre svoju stabilitu, rovinnosť a nízky koeficient tepelnej rozťažnosti.
Jedným z hlavných použití žulových súčiastok pri výrobe polovodičov je ich výrobný proces. Kremíkové doštičky, základné stavebné bloky integrovaných obvodov, musia byť vyrobené s vysokou presnosťou a správnosťou. Akékoľvek skreslenie alebo pohyb počas procesu môže viesť k chybám, ktoré môžu ovplyvniť kvalitu a funkčnosť integrovaných obvodov. Žulové stoly s vysokou stabilitou a rovinnosťou poskytujú dobrú platformu pre zariadenia na spracovanie doštičiek. Sú tiež odolné voči tepelnej rozťažnosti a kontrakcii spôsobenej ohrevom a chladením potrebným v procese.
Žulové bloky sa tiež používajú pri spracovaní polovodičov pre svoju tepelnú stabilitu. Počas procesov leptania alebo nanášania sa na úpravu povrchu kremíkového plátku používajú horúce plyny alebo plazmy. Teplota plátku sa musí kontrolovať, aby sa zabezpečilo, že proces sa vykonáva efektívne a presne. Žulové bloky s nízkym koeficientom tepelnej rozťažnosti pomáhajú stabilizovať teplotu plátku, čím znižujú riziko teplotných výkyvov, ktoré by mohli ovplyvniť kvalitu spracovaného materiálu.
Okrem výrobných a spracovateľských procesov sa žulové komponenty používajú aj v metrologických a kontrolných fázach výroby polovodičov. Metrologické merania sa vykonávajú s cieľom zabezpečiť, aby veľkosť, tvar a poloha štruktúr na doštičke boli v rámci požadovaných špecifikácií. Žulové bloky sa pri týchto meraniach používajú ako referenčné štandardy kvôli ich rozmerovej stabilite a presnosti. Používajú sa aj v kontrolných fázach, kde sa kvalita integrovaných obvodov kontroluje pod veľkým zväčšením.
Celkovo sa v posledných rokoch zvýšilo používanie žulových komponentov vo výrobe polovodičov. Potreba vysokej presnosti, správnosti a stability pri výrobe a spracovaní integrovaných obvodov viedla výrobcov polovodičov k prijatiu týchto materiálov. Jedinečné vlastnosti žuly, ako je jej tvrdosť, stabilita a nízky koeficient tepelnej rozťažnosti, z nej robia vynikajúcu voľbu pre použitie v týchto procesoch. S neustálym vývojom a zdokonaľovaním polovodičovej technológie sa očakáva, že používanie žulových komponentov v budúcnosti ďalej porastie.
Čas uverejnenia: 5. decembra 2023