Systémy ložísk z žuly sa široko používajú vultrapresnépohyblivé platformy pre výrobu polovodičov, optické zarovnávanie a metrológiu v nanometrovom meradle.
Tieto systémy eliminujú mechanický kontakt použitím tenkej vrstvy stlačeného vzduchu, čím sa dosahuje takmer nulové trenie.
Princíp vzduchového ložiska
Vzduchové ložiská fungujú tak, že medzi dva povrchy vpúšťajú stlačený vzduch, čím vytvárajú vzduchový film s hrúbkou 2 – 20 μm.
Toto eliminuje:
- Mechanické trenie
- Noste
- Stick-slip správanie
Systém sa spolieha na dynamiku tekutého filmu a stabilné laminárne prúdenie.
Úloha žuly
Žula poskytuje:
- Štrukturálna stabilita
- Potlačenie tepelného driftu
- Tlmenie vibrácií
Slúži ako mechanická referenčná základňa pre pohybový systém.
Systémové komponenty
- Žulový základ
- Vzduchové ložiskové podložky
- Systém prívodu vzduchu
- Presné enkodéry
- Systém riadenia pohybu
Výkonnostné charakteristiky
Typický výkon zahŕňa:
- Presnosť polohovania v submikrónoch
- Vysoká priamosť pri dlhej dráhe
- Nulová mechanická vôľa
Medzi kľúčové zdroje chýb patrí nestabilita tlaku vzduchu, tepelný drift a chyba enkodéra.
Aplikácie
- Kontrola polovodičových doštičiek
- Litografické systémy
- Optické zarovnávacie platformy
- Špičkové metrologické stroje
Často kladené otázky
Opotrebúvajú sa vzduchové ložiská?
Žiadny mechanický kontakt eliminuje opotrebenie.
Prečo používať žulu?
Pre stabilitu a tlmenie vibrácií.
Čo obmedzuje presnosť?
Stabilita vzduchu a tepelné účinky.
Môžu niesť ťažké bremená?
Áno, v závislosti od dizajnu.
Čas uverejnenia: 3. júla 2026