♦Oxid hlinitý (Al2O3)
Presné keramické diely vyrábané spoločnosťou ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) môžu byť vyrobené z vysoko čistých keramických surovín, 92 ~ 97 % oxidu hlinitého, 99,5 % oxidu hlinitého, > 99,9 % oxidu hlinitého a lisované za studena izostatickým lisovaním CIP. Vysokoteplotné spekanie a presné obrábanie, rozmerová presnosť ± 0,001 mm, hladkosť do Ra0,1, použiteľná teplota do 1600 stupňov. Rôzne farby keramiky je možné vyrobiť podľa požiadaviek zákazníka, ako napríklad: čierna, biela, béžová, tmavočervená atď. Presné keramické diely vyrábané našou spoločnosťou sú odolné voči vysokým teplotám, korózii, opotrebovaniu a izolácii a môžu sa dlhodobo používať vo vysokoteplotnom, vákuovom a korozívnom plynnom prostredí.
Široko používaný v rôznych zariadeniach na výrobu polovodičov: rámy (keramický držiak), substrát (základňa), rameno/mostík (manipulátor), mechanické komponenty a keramické vzduchové ložisko.
Názov produktu | Vysoko čistá štvorcová rúrka/potrubie/tyč z oxidu hlinitého 99 | |||||
Index | Jednotka | 85 % Al2O3 | 95 % Al2O3 | 99 % Al₂O₃ | 99,5 % Al₂O₃ | |
Hustota | g/cm3 | 3.3 | 3,65 | 3,8 | 3,9 | |
Absorpcia vody | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
Teplota spekania | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
Tvrdosť | Mohsov | 7 | 9 | 9 | 9 | |
Pevnosť v ohybe (20 ℃) | MPa | 200 | 300 | 340 | 360 | |
Pevnosť v tlaku | kgf/cm2 | 10 000 | 25 000 | 30000 | 30000 | |
Dlhodobá pracovná teplota | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
Maximálna pracovná teplota | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
Objemový odpor | 20 ℃ | Ω. cm3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
100 ℃ | 1012 – 1013 | 1012 – 1013 | 1012 – 1013 | 1012 – 1013 | ||
300 ℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 |
Použitie vysoko čistej aluminovej keramiky:
1. Používa sa na polovodičové zariadenia: keramické vákuové skľučovadlo, rezný kotúč, čistiaci kotúč, keramické skľučovadlo.
2. Časti na prenos doštičiek: skľučovadlá na manipuláciu s doštičkami, rezacie kotúče na doštičky, čistiace kotúče na doštičky, prísavky na optickú kontrolu doštičiek.
3. Priemysel plochých LED / LCD displejov: keramická tryska, keramický brúsny kotúč, ZDVIHÁK, lišta PIN.
4. Optická komunikácia, solárny priemysel: keramické trubice, keramické tyče, keramické škrabky na sieťotlač dosiek plošných spojov.
5. Tepelne odolné a elektricky izolačné časti: keramické ložiská.
V súčasnosti možno keramiku z oxidu hlinitého rozdeliť na vysoko čistú a bežnú keramiku. Séria vysoko čistej keramiky z oxidu hlinitého sa vzťahuje na keramický materiál obsahujúci viac ako 99,9 % Al₂O₃. Vďaka teplote spekania až 1650 – 1990 °C a prenosovej vlnovej dĺžke 1 ~ 6 μm sa zvyčajne spracováva na tavené sklo namiesto platinového téglika, ktorý sa vďaka svojej priepustnosti svetla a odolnosti voči korózii alkalických kovov môže použiť ako sodíková trubica. V elektronickom priemysle sa môže použiť ako vysokofrekvenčný izolačný materiál pre substráty integrovaných obvodov. Podľa rôzneho obsahu oxidu hlinitého možno bežnú keramiku z oxidu hlinitého rozdeliť na keramiku 99, keramiku 95, keramiku 90 a keramiku 85. Niekedy sa keramika s 80 % alebo 75 % oxidu hlinitého tiež klasifikuje ako bežná keramika z oxidu hlinitého. Medzi nimi sa keramický materiál z oxidu hlinitého 99 používa na výrobu vysokoteplotných téglikov, ohňovzdorných rúrok pecí a špeciálnych materiálov odolných voči opotrebovaniu, ako sú keramické ložiská, keramické tesnenia a ventilové dosky. Hliníková keramika 95 sa používa hlavne ako odolná súčiastka proti korózii a opotrebovaniu. Keramika 85 sa často mieša s niektorými vlastnosťami, čím sa zlepšuje elektrický výkon a mechanická pevnosť. Môže sa použiť s molybdénom, nióbom, tantalom a inými kovovými tesneniami a niektoré sa používajú ako elektrické vákuové zariadenia.
Kvalitná položka (reprezentatívna hodnota) | Názov produktu | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
Chemické zloženie: Produkt s nízkym obsahom sodíka, ľahko spekateľný | H₂O | % | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 |
LOL | % | 0,1 | 0,2 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | |
Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
SiO₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
Na₂O | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
MgO* | % | - | 0,11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
Al₂0₃ | % | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | |
Stredný priemer častíc (MT-3300, metóda laserovej analýzy) | μm | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
Veľkosť kryštálov α | μm | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
Hustota tvárnenia** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2,35 | 2,57 | 2,56 | |
Hustota spekania** | g/cm³ | 3,88 | 3,93 | 3,94 | 3,93 | 3,88 | 3,77 | 3.22 | |
Rýchlosť zmršťovania spekacej linky** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* MgO nie je zahrnutý vo výpočte čistoty Al₂O₃.
* Prášok bez okuje 29,4 MPa (300 kg/cm²), teplota spekania je 1600 °C.
AES-11 / 11C / 11F: Pridaním 0,05 ~ 0,1% MgO dosiahnete vynikajúcu spekateľnosť, takže je vhodný pre keramiku z oxidu hlinitého s čistotou viac ako 99%.
AES-22S: Vyznačuje sa vysokou hustotou tvárnenia a nízkou mierou zmršťovania spekacej linky, je použiteľná na odlievanie do klzných foriem a iných veľkoformátových výrobkov s požadovanou rozmerovou presnosťou.
AES-23 / AES-31-03: Má vyššiu hustotu tvárnenia, tixotropiu a nižšiu viskozitu ako AES-22S. Prvý z nich sa používa na keramiku, zatiaľ čo druhý sa používa ako reduktor vody pre ohňovzdorné materiály a získava na popularite.
♦Charakteristiky karbidu kremíka (SiC)
Všeobecné charakteristiky | Čistota hlavných zložiek (hm. %) | 97 | |
Farba | Čierna | ||
Hustota (g/cm³) | 3.1 | ||
Absorpcia vody (%) | 0 | ||
Mechanické vlastnosti | Pevnosť v ohybe (MPa) | 400 | |
Youngov modul (GPa) | 400 | ||
Tvrdosť podľa Vickersa (GPa) | 20 | ||
Tepelné charakteristiky | Maximálna prevádzková teplota (°C) | 1600 | |
Koeficient tepelnej rozťažnosti | RT ~500 °C | 3,9 | |
(1/°C x 10-6) | RT ~800 °C | 4.3 | |
Tepelná vodivosť (W/m x K) | 130 110 | ||
Odolnosť voči tepelnému šoku ΔT (°C) | 300 | ||
Elektrické charakteristiky | Objemový odpor | 25 °C | 3 x 106 |
300 °C | - | ||
500 °C | - | ||
800 °C | - | ||
Dielektrická konštanta | 10 GHz | - | |
Dielektrické straty (x 10-4) | - | ||
Q faktor (x 104) | - | ||
Dielektrické prierazné napätie (kV/mm) | - |
♦Keramický nitrid kremíka
Materiál | Jednotka | Si₃N₄ |
Metóda spekania | - | Spekané tlakom plynu |
Hustota | g/cm³ | 3.22 |
Farba | - | Tmavosivá |
Miera absorpcie vody | % | 0 |
Youngov modul | GPA | 290 |
Tvrdosť podľa Vickersa | GPA | 18 – 20 |
Pevnosť v tlaku | MPa | 2200 |
Pevnosť v ohybe | MPa | 650 |
Tepelná vodivosť | W/mK | 25 |
Odolnosť voči tepelným šokom | Δ (°C) | 450 – 650 |
Maximálna prevádzková teplota | °C | 1200 |
Objemový odpor | Ω·cm | > 10 ^ 14 |
Dielektrická konštanta | - | 8.2 |
Dielektrická pevnosť | kV/mm | 16 |