♦Alumina (Al2O3)
Presné keramické diely vyrábané spoločnosťou ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) môžu byť vyrobené z vysoko čistých keramických surovín, 92 až 97 % oxidu hlinitého, 99,5 % oxidu hlinitého, > 99,9 % oxidu hlinitého a CIP izostatického lisovania za studena.Vysokoteplotné spekanie a presné obrábanie, rozmerová presnosť ± 0,001 mm, hladkosť do Ra0,1, použitie teploty do 1600 stupňov.Rôzne farby keramiky je možné vyrobiť podľa požiadaviek zákazníkov ako napr.: čierna, biela, béžová, tmavo červená atď. Presné keramické diely vyrábané našou spoločnosťou sú odolné voči vysokej teplote, korózii, opotrebovaniu a izolácii a môžu byť dlhodobo používané v prostredí s vysokou teplotou, vákuom a korozívnym plynom.
Široko používaný v rôznych zariadeniach na výrobu polovodičov: rámy (keramická konzola), substrát (základňa), rameno / mostík (manipulátor), mechanické komponenty a keramické vzduchové ložisko.
Meno Produktu | Keramická štvorcová rúra / rúrka / tyč z hliníka s vysokou čistotou 99 | |||||
Index | Jednotka | 85 % A1203 | 95 % A1203 | 99 % A1203 | 99,5 % A1203 | |
Hustota | g/cm3 | 3.3 | 3,65 | 3.8 | 3.9 | |
Absorpcia vody | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
Teplota spekania | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
Tvrdosť | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
Pevnosť v ohybe (20℃) | Mpa | 200 | 300 | 340 | 360 | |
Tlaková sila | Kgf/cm2 | 10 000 | 25 000 | 30 000 | 30 000 | |
Dlhodobá pracovná teplota | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
Max.Pracovná teplota | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
Objemový odpor | 20 ℃ | Ω.cm3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
100 ℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
300 ℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 |
Aplikácia keramiky z oxidu hlinitého s vysokou čistotou:
1. Používa sa na polovodičové zariadenia: keramické vákuové skľučovadlo, rezací kotúč, čistiaci kotúč, keramické skľučovadlo.
2. Časti prenosu plátkov: skľučovadlá na manipuláciu s plátkami, kotúče na rezanie plátkov, kotúče na čistenie plátkov, optické kontrolné prísavky plátkov.
3. LED / LCD plochý displej priemysel: keramická tryska, keramický brúsny kotúč, LIFT PIN, PIN koľajnica.
4. Optická komunikácia, solárny priemysel: keramické trubice, keramické tyče, sieťotlačové keramické škrabky na dosky plošných spojov.
5. Tepelne odolné a elektricky izolujúce časti: keramické ložiská.
V súčasnosti možno keramiku z oxidu hlinitého rozdeliť na keramiku vysokej čistoty a keramiku obyčajnú.Séria keramiky s vysokou čistotou oxidu hlinitého sa vzťahuje na keramický materiál obsahujúci viac ako 99,9 % Al2O3.Kvôli svojej teplote spekania až 1650 - 1990 °C a vlnovej dĺžke prenosu 1 ~ 6 μm sa zvyčajne spracováva na tavené sklo namiesto platinového téglika: ktorý sa môže použiť ako sodíková trubica vďaka svojej priepustnosti svetla a odolnosti voči korózii. alkalického kovu.V elektronickom priemysle môže byť použitý ako vysokofrekvenčný izolačný materiál pre IC substráty.Podľa rôznych obsahov oxidu hlinitého možno bežnú keramickú sériu oxidu hlinitého rozdeliť na 99 keramiky, 95 keramiky, 90 keramiky a 85 keramiky.Niekedy je keramika s 80% alebo 75% oxidu hlinitého tiež klasifikovaná ako bežná keramická séria oxidu hlinitého.Medzi nimi sa 99 keramický materiál z oxidu hlinitého používa na výrobu vysokoteplotného téglika, ohňovzdorných rúr pecí a špeciálnych materiálov odolných voči opotrebovaniu, ako sú keramické ložiská, keramické tesnenia a ventilové dosky.Hliníková keramika 95 sa používa hlavne ako časť odolná voči korózii a opotrebeniu.85 keramika je často zmiešaná v niektorých vlastnostiach, čím sa zlepšuje elektrický výkon a mechanická pevnosť.Môže používať molybdén, niób, tantal a iné kovové tesnenia a niektoré sa používajú ako elektrické vákuové zariadenia.
Kvalitná položka (reprezentatívna hodnota) | Meno Produktu | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
Chemické zloženie Ľahký spekací produkt s nízkym obsahom sodíka | H2O | % | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 |
LOl | % | 0,1 | 0,2 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | |
Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
SiO₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
Na₂O | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
MgO* | % | - | 0,11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
Al₂0₃ | % | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | |
Stredný priemer častíc (MT-3300, metóda laserovej analýzy) | μm | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
α Veľkosť kryštálu | μm | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
Hustota tvarovania** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
Hustota spekania** | g/cm³ | 3,88 | 3,93 | 3,94 | 3,93 | 3,88 | 3,77 | 3.22 | |
Rýchlosť zmršťovania linky spekania** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* MgO nie je zahrnutý do výpočtu čistoty Al₂O3.
* Bez usadzovacieho prášku 29,4 MPa (300 kg/cm²), teplota spekania je 1600 °C.
AES-11 / 11C / 11F: Pridajte 0,05 ~ 0,1% MgO, spekacia schopnosť je vynikajúca, takže je použiteľná pre keramiku z oxidu hlinitého s čistotou viac ako 99%.
AES-22S: Vyznačuje sa vysokou hustotou tvarovania a nízkou rýchlosťou zmršťovania spekacej linky, je použiteľný na odlievanie klzných foriem a iné veľkorozmerné výrobky s požadovanou rozmerovou presnosťou.
AES-23 / AES-31-03: Má vyššiu hustotu tvarovania, tixotropiu a nižšiu viskozitu ako AES-22S.prvý sa používa na keramiku, zatiaľ čo druhý sa používa ako prostriedok na redukciu vody v ohňovzdorných materiáloch, čím si získava na popularite.
♦Charakteristiky karbidu kremíka (SiC).
Všeobecné charakteristiky | Čistota hlavných zložiek (hmot. %) | 97 | |
Farba | čierna | ||
Hustota (g/cm³) | 3.1 | ||
Absorpcia vody (%) | 0 | ||
Mechanické vlastnosti | Pevnosť v ohybe (MPa) | 400 | |
Young modul (GPa) | 400 | ||
Tvrdosť podľa Vickersa (GPa) | 20 | ||
Tepelné charakteristiky | Maximálna prevádzková teplota (°C) | 1600 | |
Koeficient tepelnej rozťažnosti | RT~500°C | 3.9 | |
(1/°C x 10-6) | RT~800°C | 4.3 | |
Tepelná vodivosť (W/m x K) | 130 110 | ||
Odolnosť voči tepelným šokom ΔT (°C) | 300 | ||
Elektrické charakteristiky | Objemový odpor | 25 °C | 3 x 106 |
300 °C | - | ||
500 °C | - | ||
800 °C | - | ||
Dielektrická konštanta | 10 GHz | - | |
Dielektrická strata (x 10-4) | - | ||
Q Factor (x 104) | - | ||
Dielektrické prierazné napätie (KV/mm) | - |
♦ Keramika z nitridu kremíka
Materiál | Jednotka | Si3N4 |
Metóda spekania | - | Sintrované pod tlakom |
Hustota | g/cm³ | 3.22 |
Farba | - | Tmavošedý |
Miera absorpcie vody | % | 0 |
Young Modulus | Gpa | 290 |
Tvrdosť podľa Vickersa | Gpa | 18 - 20 |
Tlaková sila | Mpa | 2200 |
Pevnosť v ohybe | Mpa | 650 |
Tepelná vodivosť | W/mK | 25 |
Odolnosť voči tepelným šokom | Δ (°C) | 450 – 650 |
Maximálna prevádzková teplota | °C | 1200 |
Objemový odpor | Ω·cm | > 10 ^ 14 |
Dielektrická konštanta | - | 8.2 |
Dielektrická pevnosť | kV/mm | 16 |