Materiál - keramika

♦ Hliník (al2O3)

Presné keramické časti vyrobené Zhonghui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) môžu byť vyrobené z vysokokvalitných keramických surovín, 92 ~ 97% hlinitého, 99,5% hlinitého,> 99,9% hlinitého hlinitého a CIP Cold Isostatické. Vysoko teplotné spekanie a presné obrábanie, rozmerová presnosť ± 0,001 mm, plynulosť do RA0.1, používajte teplotu až do 1600 stupňov. Rôzne farby keramiky môžu byť vyrobené podľa požiadaviek zákazníkov, ako napríklad: čierna, biela, béžová, tmavo červená atď. Presné keramické časti produkované našou spoločnosťou sú odolné voči vysokej teplote, korózii, opotrebeniu a izolácii a môžu sa dlho používať vo vysokých teplotách, vákuovom a korozívnom plynovom prostredí.

Všeobecne sa používané v rôznych výrobných zariadeniach polovodičov: rámy (keramická držiak), substrát (základňa), rameno/ most (manipulátor), mechanické komponenty a keramické ložisko vzduchu.

Al2o3

Názov produktu Vysoká čistota 99 Hliník keramická štvorcová trubica / potrubie / tyč
Index Jednotka 85 % AL2O3 95 % AL2O3 99 % AL2O3 99,5 % AL2O3
Hustota G/CM3 3.3 3,65 3.8 3.9
Absorpcia vody % <0,1 <0,1 0 0
Spekaná teplota 1620 1650 1800 1800
Tvrdosť Mochs 7 9 9 9
Ohybová sila (20 ℃)) MPA 200 300 340 360
Pevnosť KGF/CM2 10000 25000 30000 30000
Dlhodobá pracovná teplota 1350 1400 1600 1650
Max. Pracovná teplota 1450 1600 1800 1800
Odpor 20 ℃ Ω. cm3 > 1013 > 1013 > 1013 > 1013
100 ℃ 1012-1013 1012-1013 1012-1013 1012-1013
300 ℃ > 109 > 1010 > 1012 > 1012

Aplikácia keramiky vysokej čistoty:
1. Aplikované na polovodičové vybavenie: keramický vákuum skľučovadla, rezný disk, čistiaci disk, keramický skľučovadlo.
2. Časti prenosu oblátok: Manipulácia s oblátkami, rezanie doštičiek, čistiace disky doštičiek, oblátky Optické inšpekčné sacie šálky.
3. LED / LCD PLATNÝ PANEL DIZAJN Priemysel: keramická dýza, keramický brúsny disk, výťahový špendlík, koľajnica s kolíkom.
4. Optická komunikácia, solárny priemysel: keramické trubice, keramické prúty, keramické škrabky na tlaku obvodov.
5. tepelne odolné a elektricky izolačné časti: keramické ložiská.
V súčasnosti možno keramika oxidu hliníka rozdeliť na vysokú čistotu a spoločnú keramiku. Séria keramiky oxidu hliníka s vysokou čistotou sa týka keramického materiálu obsahujúceho viac ako 99,9% al₂o₃. Kvôli svojej spekanej teplote až do 1650 - 1990 ° C a jej prenosovej vlnovej dĺžke 1 ~ 6 μm sa zvyčajne spracováva na fúzované sklo namiesto platinového téglika: ktorá sa môže použiť ako sodná sodná v dôsledku jej svetlej transmitencie a odolnosti proti korózii voči alkalimu kovu. V priemysle elektroniky sa môže použiť ako vysokofrekvenčný izolačný materiál pre substráty IC. Podľa rôznych obsahov oxidu hlinitého je možné spoločné keramické série oxidu hlinitého rozdeliť na 99 keramiky, 95 keramiky, 90 keramiky a 85 keramiky. Keramika s 80% alebo 75% oxidu hlinitého je tiež klasifikovaná ako bežná séria keramických oxidov hlinitého. Medzi nimi sa na výrobu vysokoteplotného téglika, ohňostrojovej pece a špeciálne materiály odolné voči opotrebeniu, ako sú keramické ložiská, keramické tesnenia a ventilové dosky a ventilové dosky, medzi nimi 99 keramických materiálov oxidu z hliníka, ako sú keramické ložiská, keramické tesnenia a ventilové dosky. 95 Hliníková keramika sa používa hlavne ako časť odolná voči korózii. 85 Keramika je často zmiešaná v niektorých vlastnostiach, čím sa zlepšuje elektrický výkon a mechanická pevnosť. Môže používať molybdén, niobium, tantalu a ďalšie kovové tesnenia a niektoré sa používajú ako elektrické vákuové zariadenia.

 

Kvalitná položka (reprezentatívna hodnota) Názov produktu AES-12 AES-11 AES-11C AES-11F AES-22S AES-23 Al-31-03
Chemické zloženie produkt s nízkym obsahom sodíka H₂o % 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1
Lož % 0,1 0,2 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1
Február ₃ % 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01
SIO₂ % 0,03 0,03 0,03 0,03 0,02 0,04 0,04
Na₂o % 0,04 0,04 0,04 0,04 0,02 0,04 0,03
Mgo* % - 0,11 0,05 0,05 - - -
Al₂0₃ % 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9
Priemer média (MT-3300, metóda laserovej analýzy) μm 0,44 0,43 0,39 0,47 1.1 2.2 3
veľkosť kryštálu μm 0,3 0,3 0,3 0,3 0,3 ~ 1,0 0,3 ~ 4 0,3 ~ 4
Hustota formovania ** g/cm³ 2.22 2.22 2.2 2.17 2.35 2.57 2,56
Hustota spekania ** g/cm³ 3,88 3,93 3,94 3,93 3,88 3,77 3.22
Zmenšujúca sa rýchlosť spekania linky ** % 17 17 18 18 15 12 7

* MGO nie je zahrnutá do výpočtu čistoty al₂o₃.
* Žiadny prášok škálovania 29,4 MPa (300 kg/cm²), teplota spekania je 1600 ° C.
AES-11 / 11C / 11F: Pridajte 0,05 ~ 0,1% MGO, sintebilita je vynikajúca, takže je použiteľná na keramiku oxidu hlinitého s čistotou viac ako 99%.
AES-22S: Charakterizované vysokou formovacou hustotou a nízkou zmenšujúcou rýchlosťou spekania, je použiteľná na skĺznutie formy liatia a ďalšie produkty vo veľkom meradle s požadovanou rozmernou presnosťou.
AES-23 / AES-31-03: Má vyššiu hustotu formovania, tixotropiu a nižšiu viskozitu ako AES-22. Prvý z nich sa používa na keramiku, zatiaľ čo druhý sa používa ako redukcia vody pre ohnivé materiály, čo získava popularitu.

♦ Charakteristiky karbidu kremíka (SIC)

Všeobecné charakteristiky Čistota hlavných komponentov (hmotn.%) 97
Farba Čierny
Hustota (g/cm³) 3.1
Absorpcia vody (%) 0
Mechanické vlastnosti Ohybová sila (MPA) 400
Mladý modul (GPA) 400
Tvrdosť Vickers (GPA) 20
Tepelné vlastnosti Maximálna prevádzková teplota (° C) 1600
Koeficient tepelnej expanzie RT ~ 500 ° C 3.9
(1/° C x 10-6) RT ~ 800 ° C 4.3
Tepelná vodivosť (w/m x k) 130 110
Odpor tepelného šoku At (° C) 300
Elektrické charakteristiky Odpor 25 ° C 3 x 106
300 ° C -
500 ° C -
800 ° C -
Dielektrická konštanta 10 GHz -
Dielektrická strata (x 10-4) -
Faktor q (x 104) -
Dielektrické rozkladné napätie (KV/mm) -

20200507170353_55726

♦ Keramika nitridu kremíka

Materiál Jednotka Si₃n₄
Spekanie - Tlak plynu spekaný
Hustota g/cm³ 3.22
Farba - Tmavo šedý
Absorpcia vody % 0
Mladý modul GPA 290
Tvrdosť GPA 18 - 20
Pevnosť MPA 2200
Ohybová sila MPA 650
Tepelná vodivosť W/mk 25
Odpor Δ (° C) 450 - 650
Maximálna prevádzková teplota ° C 1200
Odpor Ω · cm > 10 ^ 14
Dielektrická konštanta - 8.2
Dielektrická pevnosť kv/mm 16