Žulové komponenty sa vďaka svojej vysokej stabilite a odolnosti široko používajú v polovodičových zariadeniach. Sú zodpovedné za udržanie presnosti a správnosti procesov výroby polovodičov. Účinnosť a spoľahlivosť žulových komponentov však závisí od noriem a špecifikácií, ktoré sa dodržiavajú počas ich návrhu, výroby a inštalácie.
Nasledujú niektoré normy a špecifikácie, ktoré je potrebné dodržiavať pri použití žulových komponentov v polovodičových zariadeniach:
1. Hustota materiálu: Hustota žulového materiálu použitého pri výrobe žulových komponentov by mala byť okolo 2,65 g/cm3. Ide o hustotu prírodného žulového materiálu a zabezpečuje konzistentnosť a spoľahlivosť vlastností žulových komponentov.
2. Rovinnosť: Rovinnosť je jednou z najdôležitejších špecifikácií pre žulové súčiastky používané v polovodičových zariadeniach. Rovinnosť žulového povrchu by mala byť menšia ako 0,001 mm/m2. To zabezpečuje, že povrch súčiastky je plochý a rovný, čo je nevyhnutné pre procesy výroby polovodičov.
3. Povrchová úprava: Povrchová úprava žulových komponentov by mala byť vysokej kvality s drsnosťou povrchu pod 0,4 µm. To zabezpečuje, že povrch žulového komponentu má nízky koeficient trenia, čo je rozhodujúce pre plynulý chod polovodičových zariadení.
4. Koeficient tepelnej rozťažnosti: Polovodičové zariadenia pracujú pri rôznych teplotách a žulové komponenty by mali byť schopné odolávať tepelným výkyvom bez deformácie. Koeficient tepelnej rozťažnosti žuly používanej v polovodičových zariadeniach by mal byť nižší ako 2 x 10^-6 /°C.
5. Rozmerová tolerancia: Rozmerová tolerancia je kľúčová pre výkon žulových komponentov. Rozmerová tolerancia žulových komponentov by mala byť v rozmedzí ±0,1 mm pre všetky kritické rozmery.
6. Tvrdosť a odolnosť proti opotrebovaniu: Tvrdosť a odolnosť proti opotrebovaniu sú základnými špecifikáciami pre žulové komponenty používané v polovodičových zariadeniach. Žula má tvrdosť na Mohsovej stupnici 6 – 7, vďaka čomu je vhodným materiálom na použitie v polovodičových zariadeniach.
7. Izolačné vlastnosti: Žulové súčiastky používané v polovodičových zariadeniach by mali mať vynikajúce izolačné vlastnosti, aby sa zabránilo poškodeniu citlivých elektronických súčiastok. Elektrický odpor by mal byť vyšší ako 10^9 Ω/cm.
8. Chemická odolnosť: Žulové komponenty by mali byť odolné voči bežným chemikáliám používaným v procesoch výroby polovodičov, ako sú kyseliny a zásady.
Záverom možno povedať, že normy a špecifikácie pre žulové komponenty používané v polovodičových zariadeniach sú kľúčové pre zabezpečenie dlhej životnosti a spoľahlivosti komponentov aj zariadení, v ktorých sa používajú. Vyššie uvedené pokyny by sa mali prísne dodržiavať počas procesov návrhu, výroby a inštalácie, aby sa zabezpečila najvyššia kvalita komponentov. Dodržiavaním týchto noriem a špecifikácií môžu výrobcovia polovodičov zabezpečiť, aby výkon ich zariadení zostal optimálny, čo vedie k zvýšeniu produktivity a ziskovosti.
Čas uverejnenia: 20. marca 2024