Žula sa už mnoho rokov používa vo výrobe a navrhovaní polovodičových zariadení. Je to kvôli jeho vynikajúcim vlastnostiam, vďaka ktorým je ideálny materiál pre mnoho aplikácií. Žula je vysoko odolná voči opotrebovaniu, korózii a tepelným otrasom, vďaka čomu je vhodný na použitie v drsnom prostredí. V tomto článku budeme diskutovať o niektorých bežných aplikáciách žuly v polovodičových zariadeniach.
1. Metrologické vybavenie
Metrologické vybavenie sa používa na meranie rozmerov a vlastností polovodičových zariadení. Žula sa často používa ako základ pre takéto vybavenie kvôli svojej vysokej dimenzii. Rovina a presnosť povrchu žuly poskytujú ideálny odkaz na presné merania. Tepelná stabilita žuly navyše znižuje riziko rozmerových zmien v dôsledku variácií teploty.
2. Optické vybavenie
Žula sa používa aj v optických zariadeniach, ako sú litografické stroje, ktoré sa používajú pri výrobe polovodičových zariadení. Žulová základňa poskytuje stabilnú platformu pre vysoko presnú optiku použitú v týchto strojoch. Vynikajúce vlastnosti tlmenia vibrácií žuly tiež pomáhajú znižovať vibrácie, ktoré môžu ovplyvniť výkon a presnosť optiky.
3. Zariadenie na spracovanie oblátok
Spracovanie oblátok polovodičov zahŕňa niekoľko krokov vrátane čistenia, leptania a depozície. Žula sa používa v niekoľkých komponentoch spracovateľského zariadenia na oblátky. Napríklad žula sa používa ako substrát pre zariadenie na ukladanie chemických pár (CVD), ktoré sa používa na ukladanie tenkých filmov na kremíkové doštičky. Žula sa používa aj pri konštrukcii leptania a iných procesných ciev, kde je nevyhnutná jeho vynikajúca chemická odolnosť a rozmerová stabilita.
4. Testovacie zariadenie
Testovacie zariadenie sa používa na overenie výkonu a kvality polovodičových zariadení. Žula sa často používa ako základ pre testovacie zariadenia kvôli svojej vysokej tuhosti a stabilite. Žula poskytuje nemagnetickú a nevodivú platformu, ktorá eliminuje interferenciu s citlivými testovacími zariadeniami. Rovina a presnosť povrchu žuly umožňujú vysoko presné výsledky testov.
Záver
Záverom je, že žula je dôležitým materiálom pri navrhovaní a výrobe polovodičových zariadení. Jeho vynikajúce vlastnosti, vrátane rozmerovej stability, tepelnej stability, chemického odporu a tlmenia vibrácií, z neho robia ideálny materiál pre mnoho aplikácií. Žula sa používa v niekoľkých kritických komponentoch polovodičových zariadení vrátane metrologického vybavenia, optického vybavenia, vybavenia na spracovanie oblátok a testovacieho zariadenia. Keďže dopyt po rýchlejších, menších a silnejších polovodičových zariadeniach naďalej rastie, je pravdepodobné, že použitie žuly v polovodičových zariadeniach zostane nevyhnutné.
Čas príspevku: apríl-80-2024