Žula sa už mnoho rokov hojne používa pri výrobe a návrhu polovodičových zariadení. Je to vďaka jej vynikajúcim vlastnostiam, vďaka ktorým je ideálnym materiálom pre mnohé aplikácie. Žula je vysoko odolná voči opotrebovaniu, korózii a tepelným šokom, vďaka čomu je vhodná na použitie v náročných prostrediach. V tomto článku sa budeme venovať niektorým bežným aplikáciám žuly v polovodičových zariadeniach.
1. Metrologické zariadenia
Metrologické zariadenia sa používajú na meranie rozmerov a vlastností polovodičových súčiastok. Žula sa často používa ako základ pre takéto zariadenia kvôli svojej vysokej rozmerovej stabilite. Rovinnosť a presnosť povrchu žuly poskytuje ideálny referenčný bod pre presné merania. Okrem toho tepelná stabilita žuly znižuje riziko rozmerových zmien v dôsledku teplotných zmien.
2. Optické zariadenia
Žula sa používa aj v optických zariadeniach, ako sú litografické stroje, ktoré sa používajú pri výrobe polovodičových súčiastok. Žulová základňa poskytuje stabilnú platformu pre vysoko presnú optiku používanú v týchto strojoch. Vynikajúce vlastnosti žuly na tlmenie vibrácií tiež pomáhajú znižovať vibrácie, ktoré môžu ovplyvniť výkon a presnosť optiky.
3. Zariadenia na spracovanie oblátok
Spracovanie polovodičových doštičiek zahŕňa niekoľko krokov vrátane čistenia, leptania a nanášania. Žula sa používa v niekoľkých komponentoch zariadení na spracovanie doštičiek. Napríklad žula sa používa ako substrát pre zariadenia na chemické nanášanie z pár (CVD), ktoré sa používajú na nanášanie tenkých vrstiev na kremíkové doštičky. Žula sa tiež používa pri konštrukcii leptacích komôr a iných procesných nádob, kde je nevyhnutná jej vynikajúca chemická odolnosť a rozmerová stabilita.
4. Testovacie zariadenie
Testovacie zariadenia sa používajú na overovanie výkonu a kvality polovodičových súčiastok. Žula sa často používa ako základ pre testovacie zariadenia vďaka svojej vysokej tuhosti a stabilite. Žula poskytuje nemagnetickú a nevodivú platformu, ktorá eliminuje rušenie s citlivými testovacími zariadeniami. Rovinnosť a presnosť žulového povrchu umožňuje vysoko presné výsledky testov.
Záver
Záverom možno povedať, že žula je dôležitým materiálom pri návrhu a výrobe polovodičových zariadení. Vďaka svojim vynikajúcim vlastnostiam, vrátane rozmerovej stability, tepelnej stability, chemickej odolnosti a tlmenia vibrácií, je ideálnym materiálom pre mnoho aplikácií. Žula sa používa v niekoľkých kritických komponentoch polovodičových zariadení vrátane metrologických zariadení, optických zariadení, zariadení na spracovanie doštičiek a testovacích zariadení. Keďže dopyt po rýchlejších, menších a výkonnejších polovodičových súčiastkach neustále rastie, používanie žuly v polovodičových zariadeniach pravdepodobne zostane nevyhnutné.
Čas uverejnenia: 8. apríla 2024