V oblastiach špičkovej výroby a najmodernejšieho vedeckého výskumu je presná pneumatická plávajúca plošina so statickým tlakom kľúčovým zariadením na dosiahnutie ultra presnej prevádzky. Presná žulová základňa je hlavnou nosnou časťou plošiny a jej výkon úzko súvisí s pracovným prostredím. Pochopenie a splnenie týchto environmentálnych požiadaviek môže nielen zabezpečiť vysoko presnú prevádzku plošiny, ale je aj dôležitou súčasťou podniku pri zvyšovaní jeho konkurencieschopnosti v súvisiacich oblastiach, čo je podrobne opísané nižšie.
1. Teplota: presná regulácia na zabezpečenie rozmerovej stability
Hoci je žula známa svojou stabilitou, jej koeficient tepelnej rozťažnosti nie je nulový a malé zmeny teploty môžu stále ovplyvniť jej rozmerovú presnosť. Vo všeobecnosti je koeficient tepelnej rozťažnosti žuly 5-7 × 10⁻⁶/℃. V prípade presnej statickej tlakovej vzduchovej pohyblivej plošiny je táto malá zmena zosilnená plošinou, čo môže viesť k odchýlke presnosti pohybu. Napríklad pri výrobe polovodičových čipov, pri požiadavkách na presnosť polohovania na úrovni Danami, pri kolísaní teploty okolia o 1 °C môže dĺžka strany 1 meter žulovej základne spôsobiť lineárnu rozťažnosť alebo sťahovanie o 5-7 mikrónov, čo stačí na to, aby sa odchýlka litografického vzoru čipu znížila a výťažnosť. Preto by ideálna pracovná teplota presnej statickej tlakovej vzduchovej pohyblivej plošiny vybavenej presnou žulovou základňou mala byť prísne kontrolovaná na 20 °C ± 1 °C. Podniky môžu nainštalovať vysoko presný systém klimatizácie s konštantnou teplotou, priebežne monitorovať a presne upravovať teplotu okolia, udržiavať stabilitu veľkosti žulovej základne a zabezpečiť vysoko presnú prevádzku plošiny.
2. vlhkosť: primeraná kontrola, ochrana základného výkonu
Vlhkosť má tiež významný vplyv na presné žulové podstavce. V prostredí s vysokou vlhkosťou žula ľahko absorbuje vodnú paru a na povrchu môže dochádzať ku kondenzácii, čo nielenže narúša normálnu prevádzku systému vzduchovej flotácie, ale vedie aj k dlhodobej erózii žulového povrchu, čím sa znižuje jeho presnosť a životnosť. Vezmime si ako príklad dielňu na brúsenie optických šošoviek, ak je vlhkosť dlhodobo vyššia ako 60 % relatívnej vlhkosti, vodná para adsorbovaná na povrchu žulového podstavca naruší rovnomernosť filmu vzduchovej flotácie, čo vedie k zníženiu presnosti brúsenia šošoviek a povrchovým chybám. Preto je potrebné regulovať relatívnu vlhkosť pracovného prostredia v rozmedzí 40 % – 60 % relatívnej vlhkosti. Podniky môžu používať odvlhčovače, senzory vlhkosti a ďalšie zariadenia na monitorovanie a reguláciu vlhkosti v reálnom čase, vytváranie vhodného vlhkostného prostredia pre presný žulový podstavec a zabezpečenie stabilnej prevádzky presnej statickej tlakovej vzduchovej plávajúcej platformy.
3. čistota: prísna kontrola, eliminácia rušenia častíc
Prachové častice sú „nepriateľom“ presnej staticky tlakovej vzduchovej pohyblivej plošiny a spôsobujú veľké škody presnej žulovej základni. Keď drobné častice vstúpia do medzery plynového filmu medzi posuvným plynovým plavákom a žulovou základňou, môžu narušiť rovnomernosť plynového filmu, zvýšiť trenie a dokonca poškriabať povrch základne, čo vážne ovplyvní presnosť pohybu plošiny. V dielni ultra presného obrábania leteckých dielov, ak prachové častice zo vzduchu dopadnú na žulovú základňu, trajektória pohybu obrábacieho nástroja sa môže odchýliť, čo ovplyvní presnosť obrábania dielov. Preto by sa pracovný priestor mal udržiavať vo vysokej čistote a mal by dosiahnuť štandard čistoty 10 000 alebo aj vyšší. Podniky môžu filtrovať prachové častice vo vzduchu inštaláciou vysokoúčinných vzduchových filtrov (HEPA) a vyžadovať od zamestnancov nosenie bezprašného oblečenia, návlekov na topánky atď., aby sa znížil prach spôsobený ľuďmi a udržalo sa vysoko presné prevádzkové prostredie žulovej základne a presnej staticky tlakovej vzduchovej pohyblivej plošiny.
4. Vibrácie: Účinná izolácia pre vytvorenie hladkého priestoru
Vonkajšie vibrácie vážne ovplyvňujú presnosť presnej statickej tlakovej vzduchovej plávajúcej plošiny. Hoci presná žulová základňa má určitú tlmiacu kapacitu, vibrácie s vysokou pevnosťou môžu stále prekročiť jej vyrovnávaciu kapacitu. Vibrácie generované premávkou v okolí továrne a prevádzkou veľkých mechanických zariadení sa prenášajú na žulovú základňu cez zem, čo ovplyvňuje presnosť pohybu plošiny. Pri špičkových súradnicových měřiacich strojoch môžu vibrácie spôsobiť nestabilitu kontaktu medzi meracou sondou a meraným obrobkom, čo vedie k odchýlkam nameraných údajov. Na vyriešenie tohto problému je potrebné prijať účinné opatrenia na izoláciu vibrácií, ako je položenie podložiek na izoláciu vibrácií v oblasti inštalácie zariadenia, vybudovanie základov na izoláciu vibrácií alebo použitie aktívneho systému izolácie vibrácií na aktívne vyrovnanie vonkajších vibrácií a vytvorenie tichého a stabilného pracovného prostredia pre presnú žulovú základňu a presnú statickú tlakovú vzduchovú plávajúcu plošinu.
Splňte vyššie uvedené environmentálne požiadavky, aby ste naplno využili výhody presnej žulovej základne v presnej platforme s plávajúcou platformou s statickým tlakom a vzduchom, aby ste zabezpečili, že platforma poskytuje vysoko presné a vysoko stabilné služby riadenia pohybu pre rôzne odvetvia. Ak podniky dokážu venovať pozornosť týmto detailom vo výrobnom prostredí, využijú príležitosť v presnej výrobe, vedeckom výskume a iných oblastiach, zvýšia svoju konkurencieschopnosť a dosiahnu udržateľný rozvoj.
Čas uverejnenia: 10. apríla 2025