Výroba polovodičov: V procese výroby čipov musí fotolitografický proces presne preniesť vzor obvodu na doštičku. Žulová základňa jednoosového vzduchovo plávajúceho ultrapresného pohybového modulu môže poskytnúť vysoko presné polohovanie a stabilnú oporu pre stôl doštičiek v litografickom zariadení. Napríklad ASML a ďalší medzinárodne uznávaní výrobcovia litografických strojov používajú vo svojich špičkových zariadeniach vzduchovo plávajúce pohybové moduly so žulovou základňou, ktoré dokážu riadiť presnosť polohovania doštičky na nanometrovej úrovni, aby sa zabezpečila presnosť litografického vzoru, čím sa zlepšuje integrácia a výkon čipu.
Oblasť presného merania: Súradnicový merací stroj (CMM) je presné meracie zariadenie bežne používané v priemyselnej výrobe, ktoré sa používa na meranie veľkosti, tvaru a presnosti polohy obrobku. Ultrapresný pohybový modul jednoosového vzduchového plaváka na žulovom podstavci sa môže použiť ako pohybová platforma súradnicového meracieho stroja (CMM), ktorý dokáže realizovať vysoko presný lineárny pohyb a zabezpečiť stabilnú trajektóriu pohybu meracej sondy. Napríklad špičkový súradnicový merací stroj od spoločnosti Hexagon využíva túto kombináciu na meranie veľkých a zložitých dielov s presnosťou merania až do mikrónovej úrovne, čo poskytuje silnú záruku kontroly kvality dielov v automobilovom, leteckom a inom priemysle.
Letectvo a kozmonautika: Pri spracovaní a testovaní leteckých dielov sa vyžaduje vysoká presnosť. Napríklad obrábanie lopatiek leteckých motorov si vyžaduje presné riadenie trajektórie pohybu nástroja, aby sa zabezpečila presnosť profilu lopatky. Žulová základňa jednoosového ultrapresného pohybového modulu s pneumatickým plavákom sa môže použiť na päťosové obrábacie centrum a ďalšie zariadenia, aby sa zabezpečilo vysoko presné riadenie pohybu nástroja a aby sa zabezpečilo, že presnosť obrábania lopatky spĺňa konštrukčné požiadavky. Zároveň je pri montáži leteckého motora potrebné použiť aj vysoko presné meracie zariadenia na zistenie presnosti montáže dielov. Modul s pneumatickým plavákom žulovej základne môže poskytnúť stabilnú oporu a presný pohyb meracieho zariadenia, aby sa zabezpečila kvalita montáže.
Oblasť optickej kontroly: Pri výrobe a testovaní optických komponentov je potrebné vykonávať vysoko presné polohovanie a meranie optických komponentov. Napríklad pri výrobe vysoko presných optických komponentov, ako sú zrkadlá a šošovky, je potrebné použiť interferometre a iné zariadenia na detekciu presnosti tvaru povrchu. Žulová základňa jednoosového vzduchom plávajúceho ultra presného pohybového modulu sa môže použiť ako pohybová platforma interferometra, ktorá dokáže dosiahnuť submikrónovú presnosť polohovania a poskytnúť presnú dátovú podporu na detekciu optických komponentov. Okrem toho je v zariadení na laserové spracovanie potrebné použiť aj vysoko presnú pohybovú platformu na riadenie trajektórie skenovania laserového lúča. Žulová základňa vzduchom plávajúceho pohybového modulu môže splniť túto požiadavku na dosiahnutie vysoko presného laserového spracovania.
Čas uverejnenia: 7. apríla 2025