Žula je typ tvrdej horniny, ktorá sa stala nevyhnutným materiálom v priemysle výroby polovodičov. Jeho vlastnosti mu umožňujú vydržať vysoké teploty, vďaka čomu je ideálny na použitie v rôznych fázach procesov výroby polovodičových zariadení. Výsledkom je, že montáž žuly zistila rozsiahle oblasti aplikácií vo výrobkoch výrobných zariadení na výrobu polovodičov.
Jednou z najviac využívaných aplikácií žulovej zostavy je konštrukcia štruktúr s vysokou presnosťou. Rigidita a stabilita žuly umožňujú produkovať presné a presné nástroje s malou alebo žiadnou deformáciou. Táto úroveň presnosti je potrebná v procesoch výroby polovodičov, ako je implantácia iónov, kde lúč musí byť presne nasmerovaný na doštičku.
Ďalšou aplikáciou zostavy žuly vo výrobe polovodičov je výstavba metrologického vybavenia. Metrologické vybavenie je životne dôležité v procesoch výroby polovodičov, pretože meria a overuje presnosť vyrábaných zariadení. Dimenzionálna stabilita žuly, nízka tepelná expanzia a vynikajúce vlastnosti tlmenia vibrácií z neho robia materiál podľa výberu pri výstavbe metrologického zariadenia. Zahŕňa to veľké žulové povrchy používané pri predstavení a kontrole doštičiek.
Optické tabuľky sú ďalšou oblasťou rozsiahleho uplatňovania žulového zhromaždenia v polovodičovom priemysle. Optické tabuľky sa používajú pri testovaní optických zariadení, ako sú vlnovody na dátovú komunikáciu. Plachetnosť žuly, nízka tepelná expanzia, vysoká tuhosť a mechanická stabilita jej umožňujú poskytnúť vysoko stabilný povrch pre montáž a umiestnenie optiky. Žulové optické tabuľky môžu poskytnúť stabilitu a tuhosť potrebnú na vykonanie presného a presného testovania optických zariadení.
Žula tiež nachádza aplikáciu pri výstavbe oblátkových skľučov a etáp. Počas procesu výroby polovodičov je presné zarovnanie a kontrola polohy rozhodujúce. Oblátky, ktoré držia doštičky počas spracovania, si musia zachovať presnosť polohy, zatiaľ čo odolávajú vysokým teplotám a vákuovým podmienkam. Žula má vynikajúcu dimenzionálnu stabilitu v širokom rozsahu teploty a vydrží vákuové podmienky, vďaka čomu je ideálna na výstavbu skrkátkov doštičiek. Etapy používané pri pohybe doštičiek z jednej polohy do druhej prechádzajú cyklistickou sekvenciou pohybov počas procesu výroby polovodičov. Zostava žuly poskytuje stabilitu a trvanlivosť potrebnú na znášanie nepretržitých a opakujúcich sa cyklov pohybu.
Stručne povedané, uplatňovanie zostavy žuly v priemysle výroby polovodičov je rozsiahle. Vďaka jeho vlastnostiam, ako je rozmerová stabilita, nízka tepelná expanzia, vysoká tuhosť a tlmenie vibrácií, z neho robia ideálny materiál na použitie v rôznych fázach procesov výroby polovodičov. Od konštrukcie vysoko presných obrábacích strojov a metrologických zariadení až po optické tabuľky a fázy oblátok a skľučovky, atribúty žuly zohrávajú rozhodujúcu úlohu pri poskytovaní stability, presnosti a opakovateľnosti potrebnej na dosiahnutie kvalitnej výroby polovodičových zariadení.
Čas príspevku: december 06-2023