Žula je druh tvrdej horniny, ktorá sa stala nevyhnutným materiálom v priemysle výroby polovodičov. Jej vlastnosti jej umožňujú odolávať vysokým teplotám, vďaka čomu je ideálna na použitie v rôznych fázach výrobných procesov polovodičových súčiastok. Vďaka tomu našla žulová montáž rozsiahle uplatnenie v oblasti výroby polovodičových súčiastok.
Jednou z najpoužívanejších aplikácií montáže žuly je konštrukcia vysoko presných obrábacích strojov. Tuhosť a stabilita žuly umožňuje vyrábať presné a spoľahlivé nástroje s malou alebo žiadnou deformáciou. Táto úroveň presnosti je nevyhnutná v procesoch výroby polovodičov, ako je napríklad iónová implantácia, kde musí byť lúč presne nasmerovaný na doštičku.
Ďalším využitím žulových povrchov pri výrobe polovodičov je konštrukcia metrologických zariadení. Metrologické zariadenia sú v procesoch výroby polovodičov nevyhnutné, pretože merajú a overujú presnosť vyrábaných zariadení. Rozmerová stabilita žuly, nízka tepelná rozťažnosť a vynikajúce vlastnosti tlmenia vibrácií z nej robia preferovaný materiál pri konštrukcii metrologických zariadení. Patria sem aj veľké žulové povrchy používané pri príprave a kontrole doštičiek.
Optické stoly sú ďalšou oblasťou rozsiahleho použitia žulových zostáv v polovodičovom priemysle. Optické stoly sa používajú pri testovaní optických zariadení, ako sú vlnovody pre dátovú komunikáciu. Rovinnosť žuly, nízka tepelná rozťažnosť, vysoká tuhosť a mechanická stabilita jej umožňujú poskytnúť vysoko stabilný povrch pre montáž a umiestnenie optiky. Žulové optické stoly môžu poskytnúť stabilitu a tuhosť potrebnú na vykonávanie presného a precízneho testovania optických zariadení.
Žula nachádza uplatnenie aj pri konštrukcii upínačov a stolíkov na doštičky. Počas procesu výroby polovodičov je presné zarovnanie a kontrola polohy kľúčová. Upínače na doštičky, ktoré držia doštičky na mieste počas spracovania, musia udržiavať presnosť polohy a zároveň odolávať vysokým teplotám a vákuovým podmienkam. Žula má vynikajúcu rozmerovú stabilitu v širokom rozsahu teplôt a odolá vákuovým podmienkam, vďaka čomu je ideálna na konštrukciu upínačov na doštičky. Stoličky používané pri pohybe doštičiek z jednej polohy do druhej prechádzajú počas procesu výroby polovodičov cyklickou sekvenciou pohybov. Zostava zo žuly poskytuje stabilitu a odolnosť potrebnú na zvládnutie nepretržitých a opakujúcich sa cyklov pohybu.
Stručne povedané, využitie žuly v priemysle výroby polovodičov je rozsiahle. Jej vlastnosti, ako je rozmerová stabilita, nízka tepelná rozťažnosť, vysoká tuhosť a tlmenie vibrácií, z nej robia ideálny materiál na použitie v rôznych fázach výrobných procesov polovodičových súčiastok. Od konštrukcie vysoko presných obrábacích strojov a metrologických zariadení až po optické stoly, stoly a upínacie skľučovadlá na doštičky, vlastnosti žuly zohrávajú kľúčovú úlohu pri zabezpečovaní stability, presnosti a opakovateľnosti potrebných na dosiahnutie vysokokvalitnej výroby polovodičových súčiastok.
Čas uverejnenia: 6. decembra 2023