V oblasti presnej výroby a vedeckého výskumu sa dopyt po ultrapresnom riadení pohybu zo dňa na deň zvyšuje. Ako kľúčové zariadenie na dosiahnutie vysoko presného lineárneho pohybu, výkon ultrapresného jednoosového vzduchového plávajúceho modulu priamo ovplyvňuje kvalitu konečného produktu a presnosť výsledkov vedeckého výskumu. Medzi mnohými ovplyvňujúcimi faktormi, použitie žulového podstavca mu poskytuje bezkonkurenčnú výhodu a stáva sa kľúčovým prvkom na zabezpečenie vynikajúcej presnosti.
Žula má po miliónoch rokov geologických zmien mimoriadne hustú a rovnomernú vnútornú štruktúru. Je zložená prevažne z kremeňa, živca a ďalších minerálov, čo jej dáva vynikajúce fyzikálne vlastnosti. Pri použití ako základne jednoosového ultrapresného pohybového modulu s vzduchovým plavákom vykazuje žula predovšetkým extrémne vysokú stabilitu. V porovnaní s bežnými kovovými základňami vykazujú žulové základne silnejšiu odolnosť voči deformáciám v dôsledku vonkajších environmentálnych rušení, ako sú teplotné výkyvy a mechanické vibrácie. V procese výroby elektronických čipov je potrebné, aby presnosť polohovania čipovej litografie dosiahla nanometrovú úroveň. Vo výrobnej hale môžu vibrácie generované prevádzkou veľkých zariadení a malé zmeny okolitej teploty ovplyvniť presnosť pohybu litografického zariadenia. Jednoosový ultrapresný pohybový modul s vzduchovým plavákom a žulovou základňou dokáže účinne tlmiť vonkajšie vibrácie a znížiť amplitúdu vibrácií prenášaných na pohybový modul o viac ako 80 %. Zároveň jeho extrémne nízky koeficient tepelnej rozťažnosti spôsobuje, že veľkosť základne sa pri zmene teploty mení len veľmi málo, čo zabezpečuje, že modul s pohybom vzduchu v plávajúcej polohe si stále dokáže udržiavať stabilnú presnosť pohybu v zložitom prostredí, čím poskytuje presný základ pre litografiu čipov a výrazne zlepšuje výťažnosť výroby čipov.
Okrem toho má žula dobrú odolnosť proti opotrebovaniu. Pri častom vratnom pohybe ultrapresného jednoosového modulu vzduchového plaváka, hoci medzi posuvníkom vzduchového plaváka a základňou je plynová vrstva, dlhodobé používanie nevyhnutne spôsobí určitý stupeň trenia. Žulová základňa s vysokou tvrdosťou dokáže účinne odolávať opotrebovaniu spôsobenému týmto trením a predlžuje životnosť pohybového modulu. Vo vedeckých výskumných laboratóriách univerzít experimentálne zariadenia používané na detekciu mikročastíc potrebujú, aby ultrapresný pohybový modul jednoosovej vzduchovej flotácie bežal stabilne po dlhú dobu, aby sa získalo veľké množstvo presných experimentálnych údajov. Vysoká odolnosť žulovej základne proti opotrebovaniu zaisťuje, že presnosť pohybového modulu sa po dlhom čase používania udrží na pôvodnej vysokej úrovni presnosti, čo poskytuje spoľahlivú záruku kontinuity a presnosti vedeckého výskumu a pomáha výskumníkom hlbšie preskúmať tajomstvo mikroskopického sveta.
Jednoosový ultrapresný pohybový modul s pneumatickým plavákom a žulovou základňou je ako presný „navigátor“ pre presnú výrobu a vedecký výskum. Žulová základňa s vynikajúcou stabilitou a odolnosťou proti opotrebovaniu poskytuje pevnú oporu pre vysoko presný pohyb pneumatického plávajúceho pohybového modulu. Pri výrobe polovodičov, výrobe optických prístrojov, špičkovom vedeckom výskume a mnohých ďalších presných požiadavkách v tejto oblasti zohráva nenahraditeľnú úlohu a podporuje smerovanie odvetvia k vyššej presnosti a vyššej kvalite.
Čas uverejnenia: 7. apríla 2025