V presnom reťazci výroby polovodičov je systém prenosu doštičiek ako „záchranné lano výrobnej linky čipov“ a jeho stabilita a presnosť priamo určujú mieru výťažnosti čipov. Nová generácia systémov prenosu doštičiek revolučne kombinuje lineárne motory s žulovými základňami a jedinečné výhody žulových materiálov sú presne základným kódom na odomknutie vysokovýkonného prenosu.
Žulová základňa: Budovanie „pevného základu“ pre stabilný prenos
Žula, ktorá prešla stovkami miliónov rokov geologického zdokonaľovania, sa vyznačuje hustou a rovnomernou vnútornou minerálnou kryštalizáciou. Táto prirodzená vlastnosť z nej robí ideálny základný materiál pre systémy prenosu doštičiek. V komplexnom prostredí čistých priestorov pre polovodiče dokáže žula s ultranízkym koeficientom tepelnej rozťažnosti (iba 5-7 ×10⁻⁶/℃) odolávať teplu generovanému počas prevádzky zariadenia a vplyvu zmien teploty prostredia, čím zabezpečuje stabilitu základnej veľkosti a zabraňuje odchýlkam prenosovej dráhy spôsobeným tepelnou deformáciou. Jej vynikajúci tlmiaci výkon dokáže rýchlo absorbovať mechanické vibrácie generované počas spúšťania, vypínania a zrýchľovania lineárnych motorov, ako aj vonkajšie rušenie spôsobené prevádzkou iných zariadení v dielni, čím poskytuje stabilnú platformu s „nulovým otrasom“ pre prenos doštičiek.
Chemická stabilita žuly zároveň zabezpečuje, že v dielňach na polovodiče, kde sú kyslé a alkalické činidlá prchavé a vyžaduje sa vysoká čistota, nekoroduje ani nehrdzavie, čím sa zabráni vplyvu na presnosť prenosu v dôsledku starnutia materiálu alebo adsorpcie znečisťujúcich látok. Hladký a hustý povrch dokáže účinnejšie znížiť priľnavosť prachu, splniť prísne štandardy čistých priestorov bez prachu a eliminovať riziko kontaminácie doštičiek od koreňa.
Efekt „zlatého partnerstva“ lineárnych motorov a žuly
Lineárne motory sa vyznačujú absenciou mechanickej prenosovej vôle, vysokým zrýchlením a vysokou rýchlosťou odozvy, čo poskytuje prenosu doštičiek výhody „rýchlosti, presnosti a stability“. Žulová základňa poskytuje pevnú a spoľahlivú podpornú platformu. Tieto dve zložky spolupracujú na dosiahnutí skokového zlepšenia výkonu. Keď lineárny motor poháňa nosič doštičiek po dráhe žulovej základne, silná tuhosť a stabilita základne zabezpečujú efektívny prenos hnacej sily motora, čím sa zabráni strate sily alebo oneskoreniu prenosu spôsobenému deformáciou základne.
Vďaka dopytu po presnosti v nanorozmeroch dokážu lineárne motory dosiahnuť riadenie posunu na submikrónovej úrovni. Vysoko presné spracovateľské charakteristiky žulových podstavcov (s chybami rovinnosti kontrolovanými v rozmedzí ±1 μm) dokonale zodpovedajú presnému riadeniu lineárnych motorov, čím sa spoločne zabezpečuje, že chyba polohovania počas prenosu doštičiek je menšia ako ±5 μm. Či už ide o vysokorýchlostný presun medzi rôznymi procesnými zariadeniami alebo presné parkovanie pri odovzdávaní doštičiek, kombinácia lineárnych motorov a žulových podstavcov dokáže zabezpečiť „nulovú odchýlku a nulové chvenie“ pri prenose doštičiek.
Overenie praxe v odvetví: Dvojité zlepšenie efektívnosti a miery výnosu
Po modernizácii svojho systému prenosu doštičiek prijal popredný svetový podnik v oblasti polovodičov riešenie s lineárnym motorom a žulovou základňou, ktoré zvýšilo účinnosť prenosu doštičiek o 40 %, znížilo mieru výskytu porúch, ako sú kolízie a posuny počas procesu prenosu, o 85 % a zlepšilo celkovú mieru výťažnosti čipov o 6 %. Za týmito údajmi sa skrýva záruka stability prenosu, ktorú poskytuje žulová základňa, a vysokorýchlostný a presný synergický efekt lineárneho motora, ktorý výrazne znižuje straty a chyby v procese prenosu doštičiek.
Od vlastností materiálov až po presnú výrobu, od výkonnostných výhod až po praktické overenie, kombinácia lineárnych motorov a žulových základov nanovo definovala štandardy systémov prenosu doštičiek. V budúcnosti, keď sa polovodičová technológia posunie smerom k 3nm a 2nm procesom, žulové materiály budú určite naďalej silným impulzom pre rozvoj tohto odvetvia vďaka svojim nenahraditeľným výhodám.
Čas uverejnenia: 14. mája 2025