Žulové lôžko je dôležitou súčasťou rôznych polovodičových zariadení. Ako vysoko stabilný a tuhý materiál sa žula široko využíva ako základ pre vybavenie na spracovanie polovodičov. Vyznačuje sa svojím nízkym koeficientom rozširovania tepelnej expanzie, vysokou dimenzionálnou stabilitou a vynikajúcimi mechanickými vlastnosťami. Vďaka týmto vlastnostiam sa žulové lôžko najčastejšie používa v troch rôznych typoch polovodičových zariadení - metrologického vybavenia, litografického zariadenia a inšpekčných zariadení.
Metrologické zariadenie sa používa na meranie a detekciu kritických rozmerov polovodičových zariadení. Hrá kľúčovú úlohu pri udržiavaní kvality a konzistentnosti procesu výroby polovodičov. Metrologické vybavenie zahŕňa prístroje, ako sú optické mikroskopy, elektrónové mikroskopy a mikroskopy atómovej sily (AFM). Pretože výkon týchto meracích prístrojov závisí od ich stability, presnosti a odolnosti proti vibráciám, žula je ideálnou voľbou pre ich materiál na posteľ. Jednotnosť a stabilita žulového lôžka poskytujú stabilnú platformu pre nástroje, ktorá zvyšuje ich presnosť a spoľahlivosť.
Litografické vybavenie sa používa na výrobu vzorov mikročipov na oblátke. Litografický proces si vyžaduje vysokú úroveň presnosti a presnosti, aby sa vytvorili zložité obvody a zlepšili výkon ChIP. Litografické vybavenie obsahuje systémy Stepper a Scanner, ktoré používajú svetlo na prenos obrázkov na oblátku. Pretože proces litografie je vysoko citlivý na vibrácie a tepelné zmeny, je nevyhnutné vysokokvalitné lôžko na zabezpečenie stability a opakovateľnosti procesu litografie. Žulové postele poskytujú požadovanú stabilitu a prísny výkon tlmenia vibrácií pre litografické systémy. Žulové lôžko umožňuje systému Stepper alebo Scanner zachovať presné priestorové vzťahy, ktoré zabezpečujú vysokú presnosť a konečnú kvalitu produktu.
Inšpekčné zariadenie sa používa na detekciu akýchkoľvek defektov v polovodičových zariadeniach. Inšpekčné zariadenia zahŕňajú systémy, ako sú laserové skenovacie mikroskopy, elektrónové mikroskopy a optické mikroskopy. S potrebou, aby boli tieto zariadenia vysoko presné, stabilné a vibračné, žulové postele sú perfektným materiálom. Mechanické vlastnosti žuly a rozmerová stabilita pomáhajú pri izolácii vibrácií, čo zvyšuje presnosť výstupu inšpekčného zariadenia.
Záverom je, že žulová posteľ je pre polovodičový priemysel rozhodujúca a je široko využívaná v rôznych typoch zariadení. Vďaka jeho jedinečným vlastnostiam, ako je rozmerová stabilita, koeficient nízkej tepelnej expanzie a vynikajúca mechanická stabilita, spôsobujú, že žula je ideálnou voľbou pre materiál lôžka polovodičového zariadenia. Keďže vysoko kvalitné žulové lôžko poskytuje potrebnú odolnosť stability, presnosti a vibrácií voči polovodičovým zariadeniam, v konečnom dôsledku zlepšuje kvalitu konečného produktu. Preto použitie žulového lôžka v polovodičových zariadeniach určite bude pokračovať v nasledujúcich rokoch.
Čas príspevku: apríl-03-2024