Žulové materiály sa v polovodičovom priemysle hojne používajú vďaka svojim vynikajúcim vlastnostiam, ako je vysoká stabilita, nízka tepelná rozťažnosť a vysoká odolnosť voči korózii. Vďaka týmto vlastnostiam je žula ideálnym materiálom na výrobu vysoko presných súčiastok v systémoch na prenos doštičiek.
V procese výroby polovodičov zohráva systém prenosu doštičiek kľúčovú úlohu pri preprave doštičiek v rôznych fázach výrobného procesu. Presnosť a správnosť sú základnými požiadavkami na tieto systémy, pretože aj malé odchýlky by mohli ohroziť celý proces. Preto musia byť komponenty v systéme prenosu doštičiek vyrobené z vysoko kvalitných materiálov a žula tieto kritériá spĺňa.
Medzi niektoré časti systému prenosu doštičiek, ktoré sú vyrobené z žulových materiálov, patria:
1. Stôl s vákuovým upínacím skľučovadlom
Vákuový upínací stôl sa používa na držanie doštičky počas procesu a musí mať stabilný povrch, aby sa zabezpečilo, že sa doštička nepoškodí. Žula je ideálnym materiálom na výrobu tohto stola, pretože má plochý, neporézny povrch, ktorý poskytuje vysokú stabilitu a presnosť. Žula má navyše nízky koeficient tepelnej rozťažnosti, vďaka čomu je odolná voči teplotným zmenám, ktoré by mohli spôsobiť rozmerové zmeny doštičky.
2. Fáza vzduchového ložiska
Vzduchový stolík sa používa na prepravu doštičky cez rôzne fázy výrobného procesu. Stolík je navrhnutý tak, aby poskytoval pohyb bez trenia, čo si vyžaduje vysokú presnosť a stabilitu. Žula sa v tejto aplikácii používa, pretože je to pevný a tvrdý kameň, ktorý odoláva deformácii a opotrebovaniu v priebehu času.
3. Lineárne vodiace lišty
Lineárne vedenia sa používajú na vedenie stolíka s ložiskami a musia byť presne umiestnené, aby sa minimalizovali chyby. Na výrobu tohto vedenia sa používa žula, pretože má vynikajúcu mechanickú stabilitu a pevnosť. Materiál je tiež odolný voči korózii, čo zaisťuje dlhú životnosť vodiaceho systému.
4. Metrologické zariadenia
Metrologické zariadenia sa používajú na meranie rozmerov a vlastností doštičiek počas výrobného procesu. Žula je ideálnym materiálom na výrobu týchto zariadení, pretože má vysokú tuhosť, nízku rozťažnosť a minimálnu deformáciu pri zaťažení. Tepelná stabilita žuly navyše zabezpečuje, že metrologické zariadenie zostane stabilné a presné v priebehu času.
Záverom možno povedať, že polovodičový priemysel sa spolieha na presnosť a správnosť a žulové materiály sa vo výrobnom procese ukázali ako vysoko spoľahlivé a stabilné. Keďže mnohé kritické komponenty v systéme prenosu doštičiek vyžadujú vysokú stabilitu, presnosť a nízku tepelnú rozťažnosť, inžinieri sa obrátili na žulové materiály, aby splnili tieto kritické požiadavky.
Čas uverejnenia: 19. marca 2024