Žulové materiály sa široko používajú v polovodičovom priemysle kvôli ich vynikajúcim charakteristikám, ako je vysoká stabilita, nízka tepelná expanzia a vysoká odolnosť voči korózii. Tieto vlastnosti robia z žuly ideálnym materiálom na budovanie vysoko presných komponentov v systéme prenosu oblátok.
V procese výroby polovodičov zohráva systém prenosu oblátok rozhodujúcu úlohu pri preprave doštičiek v rôznych fázach výrobného procesu. Presnosť a presnosť sú základnými požiadavkami na tieto systémy, pretože aj mierne odchýlky by mohli ohroziť celý proces. Preto musia byť komponenty v systéme prenosu oblátok vyrobené z kvalitných materiálov a žula spĺňa tieto kritériá.
Niektoré časti systému prenosu oblátok, ktoré sú vyrobené z žulových materiálov, zahŕňajú:
1. Vákuový skľučovadlo
Tabuľka vákua skľučovky sa používa na držanie oblátky počas procesu a musí mať stabilný povrch, aby sa zabezpečilo, že doštička nie je poškodená. Žula je ideálnym materiálom na výrobu tejto tabuľky, pretože má plochý, bez zložitý povrch, ktorý poskytuje vysokú stabilitu a presnosť. Žula má navyše nízky koeficient tepelnej expanzie, vďaka čomu je odolný voči zmenám teploty, ktoré by mohli spôsobiť rozmerové zmeny v oblátke.
2. Fáza nosenia vzduchu
Fáza nesenia vzduchu sa používa na prepravu oblátky rôznymi fázami výrobného procesu. Scéna je navrhnutá tak, aby poskytla pohyb bez trenia, ktorý si vyžaduje vysokú presnosť a stabilitu. Žula sa v tejto aplikácii používa, pretože je to rigidný a tvrdý kameň a odoláva deformácii a opotrebovaniu v priebehu času.
3. Lineárny pohyb vodíkov
Lineárne pohyby sa používajú na usmernenie fázy nosenia vzduchu a musia byť presne umiestnené, aby sa minimalizovali chyby. Žula sa používa na zostavenie tohto sprievodcu, pretože má vynikajúcu mechanickú stabilitu a pevnosť. Materiál je tiež odolný voči korózii, čo zaisťuje dlhovekosť vodiaceho systému.
4. Metrologické vybavenie
Metrologické zariadenie sa používa na meranie rozmerov a vlastností oblátky počas výrobného procesu. Žula je ideálnym materiálom na vybudovanie tohto zariadenia, pretože má pri zaťažení vysokú tuhosť, nízku expanziu a minimálnu deformáciu. Okrem toho tepelná stabilita žuly zaisťuje, že metrologické zariadenie zostane v priebehu času stabilné a presné.
Záverom možno povedať, že polovodičový priemysel sa spolieha na presnosť a presnosť a žulové materiály sa vo výrobnom procese ukázali ako veľmi spoľahlivé a stabilné. S mnohými kritickými komponentmi v systéme prenosu oblátok, ktoré si vyžadujú vysokú stabilitu, presnosť a nízku tepelnú expanziu, sa inžinieri obrátili na žulové materiály, aby splnili tieto kritické požiadavky.
Čas príspevku: mar-19-2024