Žulové materiály sú široko používané v polovodičovom priemysle vďaka svojim vynikajúcim vlastnostiam, ako je vysoká stabilita, nízka tepelná rozťažnosť a vysoká odolnosť proti korózii.Vďaka týmto vlastnostiam je žula ideálnym materiálom na výrobu vysoko presných komponentov v systéme prenosu plátkov.
V procese výroby polovodičov hrá systém prenosu plátkov rozhodujúcu úlohu pri preprave plátkov v rôznych fázach výrobného procesu.Presnosť a presnosť sú základnými požiadavkami na tieto systémy, pretože aj malé odchýlky by mohli ohroziť celý proces.Preto musia byť komponenty v systéme na prenos plátkov vyrobené z vysoko kvalitných materiálov a žula tieto kritériá spĺňa.
Niektoré časti systému na prenos doštičiek, ktoré sú vyrobené zo žulových materiálov, zahŕňajú:
1. Vákuový upínací stôl
Vákuový upínací stôl sa používa na držanie plátku počas procesu a musí mať stabilný povrch, aby sa plátok nepoškodil.Žula je ideálny materiál na výrobu tohto stola, pretože má plochý, neporézny povrch, ktorý poskytuje vysokú stabilitu a presnosť.Okrem toho má žula nízky koeficient tepelnej rozťažnosti, vďaka čomu je odolná voči teplotným zmenám, ktoré by mohli spôsobiť rozmerové zmeny v plátku.
2. Stupeň vzduchového ložiska
Stupeň nesúci vzduch sa používa na prepravu plátku rôznymi fázami výrobného procesu.Stupeň je navrhnutý tak, aby poskytoval pohyb bez trenia, čo si vyžaduje vysokú presnosť a stabilitu.V tejto aplikácii sa používa žula, pretože je to tuhý a tvrdý kameň a časom odoláva deformácii a opotrebovaniu.
3. Lineárne vodiace lišty
Lineárne vodidlá pohybu sa používajú na vedenie vzduchového ložiska a musia byť presne umiestnené, aby sa minimalizovali chyby.Na stavbu tohto vedenia je použitá žula, pretože má vynikajúcu mechanickú stabilitu a pevnosť.Materiál je tiež odolný voči korózii, čo zaisťuje dlhú životnosť vodiaceho systému.
4. Metrologické zariadenia
Metrologické zariadenie sa používa na meranie rozmerov a vlastností plátku počas výrobného procesu.Žula je ideálny materiál na stavbu tohto zariadenia, pretože má vysokú tuhosť, nízku rozťažnosť a minimálnu deformáciu pri zaťažení.Tepelná stabilita žuly navyše zaisťuje, že metrologické zariadenie zostane stabilné a presné v priebehu času.
Záverom možno povedať, že polovodičový priemysel sa spolieha na presnosť a presnosť a žulové materiály sa ukázali ako vysoko spoľahlivé a stabilné vo výrobnom procese.S mnohými kritickými komponentmi v systéme prenosu plátkov vyžadujúcich vysokú stabilitu, presnosť a nízku tepelnú rozťažnosť sa inžinieri obrátili na žulové materiály, aby splnili tieto kritické požiadavky.
Čas odoslania: 19. marca 2024