Vo svete výroby polovodičov je presné a spoľahlivé vybavenie kľúčové pre výrobu vysokokvalitných čipov. Existuje množstvo častí zariadenia na výrobu polovodičov, ktoré musia používať materiály so špecifickými vlastnosťami, aby sa zabezpečila spoľahlivá a vysoko presná prevádzka.
Jedným z materiálov, ktorý sa stal štandardnou súčasťou polovodičových zariadení, je žula. Žula, známa svojou pevnosťou a stabilitou, je vynikajúcim materiálom na konštrukciu a výrobu súčiastok používaných v polovodičových zariadeniach. Tu sú niektoré časti polovodičových zariadení, ktoré bežne používajú žulový materiál:
1. Základové dosky
Základné dosky polovodičových zariadení musia byť extrémne ploché a stabilné, aby sa minimalizovali vibrácie a kolísanie teploty. A žula je jedným z mála materiálov, ktoré tieto požiadavky spĺňajú. Žula je rozmerovo stabilný materiál, ktorý odoláva deformácii a tepelnej rozťažnosti, čím zabezpečuje, že si základná doska časom zachová svoju plochosť.
2. Fázy
Stoličky sú kritickými súčasťami polovodičových zariadení, ktoré vykonávajú presné pohyby pri výrobných procesoch, ako je umiestňovanie doštičiek, leptanie a nanášanie. Žulové stolíky sa v polovodičových zariadeniach široko používajú vďaka svojej vysokej tuhosti, nízkej tepelnej rozťažnosti a vynikajúcim tlmiacim vlastnostiam. S žulovými stolíkmi sú pohyby presnejšie a zariadenie má nižšie riziko poruchy.
3. Lineárne vedenia
Lineárne vedenia sú mechanické zariadenia, ktoré zabezpečujú lineárny pohyb pozdĺž dvoch rovnobežných koľajníc. Musia byť mimoriadne stabilné a presné a žula je na tento účel ideálnym materiálom. Vysoká tuhosť a tlmiace vlastnosti žuly z nej robia obľúbenú voľbu pre lineárne vedenia používané v polovodičových zariadeniach, čím zabezpečujú stabilitu a presnosť vo výrobnom procese.
4. Skľučovadlá
Upínacie skľučovadlá sa používajú na držanie a polohovanie doštičiek počas rôznych výrobných procesov. Žulové upínacie skľučovadlá sú obľúbené vďaka svojej plochosti a tepelnej stabilite. Vďaka nízkej tepelnej rozťažnosti žuly sa upínacie skľučovadlá vyrobené z tohto materiálu pri vystavení teplotným zmenám nedeformujú ani nemenia rozmery.
5. Kontrolné dosky
Kontrolné dosky sa používajú na kontrolu kvality výrobkov vyrábaných v polovodičových zariadeniach. Tieto dosky musia byť extrémne ploché a stabilné a musia byť schopné presne odrážať svetlo. Vysoká odrazivosť, rovinnosť povrchu a rozmerová stabilita žuly z nej robia obľúbenú voľbu pre kontrolné dosky v polovodičových zariadeniach.
Záverom možno povedať, že žulové prvky sa široko používajú na výrobu presných súčiastok v polovodičových zariadeniach a predpokladá sa, že ich použitie sa vďaka ich vynikajúcim vlastnostiam ešte rozšíri. Vďaka vysokej tuhosti, nízkej tepelnej rozťažnosti a vynikajúcim tlmiacim vlastnostiam poskytujú žulové prvky požadovanú stabilitu, presnosť a opakovateľnosť pri vykonávaní nanorozmerných operácií v polovodičových zariadeniach. Spoločnosti, ktoré vyrábajú vysokokvalitné polovodičové zariadenia, investujú do najlepších materiálov, aby svojim produktom poskytli čo najlepšiu šancu na úspech, a žula je vďaka svojim vynikajúcim vlastnostiam a spoľahlivosti naďalej obľúbeným materiálom.
Čas uverejnenia: 19. marca 2024