Žulové postele sú vysoko preferované vo výrobe polovodičových zariadení kvôli ich vynikajúcim vlastnostiam, ako je vysokorozmerná stabilita, vysoká tuhosť, nízka tepelná expanzia, dobré tlmiace vlastnosti a vysoký odpor voči opotrebeniu a oderu. Všeobecne sa používajú v niekoľkých kritických komponentoch v priemysle výroby polovodičových zariadení, ako sú systémy inšpekcií doštičiek, systémy merania doštičiek, systémy manipulácie s oblátkami a ďalšie.
Inšpekčné systémy
Inšpekčné systémy oblátky využívajú žulové postele na zabezpečenie stabilného a rovného povrchu na kontrolu polovodičových doštičiek. Žulové postele sa používajú ako javisková plošina, ktorá drží oblátku podstupujúcu inšpekciu. Rovina a tuhosť žulového lôžka zaisťuje presnú kontrolu a zároveň minimalizuje poškodenie alebo kontamináciu doštičky. Žulové postele tiež pomáhajú znižovať účinky vibrácií na životné prostredie a ďalších vonkajších faktorov.
Meracie systémy oblátky
V systémoch merania oblátok je presnosť kritická. Žulové postele sa na tento účel široko používajú kvôli svojej vynikajúcej rozmerovej stabilite. Poskytujú tuhý základ pre presné meranie hrúbky oblátky, tvaru a povrchových prvkov. Žulové postele sú tiež odolné voči opotrebovaniu a oderu, vďaka čomu sú ideálne na nepretržité používanie po dlhšiu dobu.
Systémy manipulácie s oblátkami
Žulové postele sa používajú aj v systémoch manipulácie s oblátkami. V týchto systémoch sa žulové postele používajú ako presný sprievodca na umiestnenie oblátky počas procesu manipulácie. Vysoká tuhosť a rovinnosť žulového lôžka zaisťujú presné a opakovateľné umiestnenie oblátky, čím sa znižuje riziko poškodenia.
Ostatné komponenty
Okrem vyššie uvedených komponentov sa žulové postele používajú aj v iných kritických častiach výroby polovodičových zariadení, ako sú javiskové základne, podporné konštrukcie a ďalšie vysoko presné časti. Vysoko dimenzionálna stabilita žulových postelí pomáha znižovať chyby spôsobené deformáciou časti, tepelnými zmenami a vibráciami.
Záver
Záverom je, že žulové postele sú kritickou súčasťou výroby polovodičových zariadení, pretože ponúkajú vysokorozmernú stabilitu, nízku tepelnú expanziu a vynikajúcu odolnosť proti opotrebeniu a oderu. Sú nevyhnutné pre presný, opakovateľný a spoľahlivý výkon v systémoch inšpekcií doštičiek, systémy merania oblátok, systémy manipulácie s oblátkami a iné vysoko presné vybavenie. Používanie žulových postelí zaisťuje, že výrobcovia polovodičových zariadení môžu vyrábať vysoko kvalitné výrobky, ktoré spĺňajú prísne normy požadované moderným polovodičovým priemyslom.
Čas príspevku: apríl-03-2024