Žulové lôžka sú veľmi obľúbené pri výrobe polovodičových zariadení vďaka svojim vynikajúcim vlastnostiam, ako je vysoká rozmerová stabilita, vysoká tuhosť, nízka tepelná rozťažnosť, dobré tlmiace vlastnosti a vysoká odolnosť voči opotrebovaniu a oderu. Sú široko používané v niekoľkých kritických komponentoch v priemysle výroby polovodičových zariadení, ako sú systémy na kontrolu doštičiek, systémy na meranie doštičiek, systémy na manipuláciu s doštičkami a ďalšie.
Systémy na kontrolu doštičiek
Systémy na kontrolu polovodičových doštičiek využívajú žulové lôžka, ktoré poskytujú stabilný a rovný povrch na kontrolu polovodičových doštičiek. Žulové lôžka sa používajú ako plošina, ktorá drží kontrolovaný doštičku. Rovinnosť a tuhosť žulového lôžka zaisťuje presnú kontrolu a zároveň minimalizuje poškodenie alebo kontamináciu doštičky. Žulové lôžka tiež pomáhajú znižovať vplyv vibrácií prostredia a iných vonkajších faktorov.
Systémy na meranie doštičiek
V systémoch merania doštičiek je presnosť kritická. Žulové lôžka sa na tento účel široko používajú vďaka svojej vynikajúcej rozmerovej stabilite. Poskytujú pevný základ pre presné meranie hrúbky, tvaru a povrchových vlastností doštičiek. Žulové lôžka sú tiež odolné voči opotrebovaniu a oderu, vďaka čomu sú ideálne na nepretržité používanie počas dlhšieho obdobia.
Systémy na manipuláciu s doštičkami
Žulové lôžka sa používajú aj v systémoch manipulácie s doštičkami. V týchto systémoch sa žulové lôžka používajú ako presné vedenie pre polohovanie doštičky počas manipulačného procesu. Vysoká tuhosť a rovinnosť žulového lôžka zaisťuje presné a opakovateľné polohovanie doštičky, čím sa znižuje riziko poškodenia.
Ostatné komponenty
Okrem vyššie uvedených komponentov sa žulové lôžka používajú aj v iných kritických častiach výroby polovodičových zariadení, ako sú základne stolíkov, nosné konštrukcie a iné vysoko presné súčiastky. Vysoká rozmerová stabilita žulových lôžok pomáha znižovať chyby spôsobené deformáciou súčiastok, tepelnými zmenami a vibráciami.
Záver
Záverom možno povedať, že žulové lôžka sú kľúčovou súčasťou výroby polovodičových zariadení, pretože ponúkajú vysokú rozmerovú stabilitu, nízku tepelnú rozťažnosť a vynikajúcu odolnosť voči opotrebovaniu a oderu. Sú nevyhnutné pre presný, opakovateľný a spoľahlivý výkon v systémoch kontroly doštičiek, systémoch merania doštičiek, systémoch manipulácie s doštičkami a iných vysoko presných zariadeniach. Použitie žulových lôžok zabezpečuje, že výrobcovia polovodičových zariadení môžu vyrábať vysoko kvalitné produkty, ktoré spĺňajú prísne štandardy požadované moderným polovodičovým priemyslom.
Čas uverejnenia: 3. apríla 2024