Žula je jedným z najpopulárnejších materiálov používaných v polovodičových zariadeniach. Je to typ tvrdej, vyvracia skala, ktorá prichádza v rôznych odtieňoch šedej, ružovej a bielej. Žula je známa svojou trvanlivosťou, nízkym koeficientom rozširovania tepelného rozširovania a vynikajúcou tepelnou vodivosťou, vďaka čomu je ideálnym materiálom na použitie v subsystémoch polovodičových zariadení.
Jedným z primárnych subsystémov, ktoré využívajú žulu v polovodičových zariadeniach, je manipulácia s oblátkovými a spracovateľskými subsystémami. Tento subsystém zohráva rozhodujúcu úlohu vo výrobnom procese polovodičových zariadení. Oblátka je počiatočný substrát pre zariadenie a manipulačný a spracovateľský subsystém je zodpovedný za prenos doštičiek medzi rôznymi komorami a spracovateľskými zariadeniami. Žula sa používa na vytvorenie vysoko presných a plochých povrchov manipulácie s oblátkami a poskytuje stabilnú platformu na spracovanie oblátok.
Ďalším kritickým subsystémom, ktorý používa žulu, je vákuový subsystém. V polovodičových zariadeniach sa vákuové komory používajú, aby sa predišlo kontaminácii počas výroby. Aby tento systém efektívne fungoval, musí byť komora úplne zapečatená, v ktorej prichádza žula. Žula je ideálnym materiálom pre vákuové komory, pretože má veľmi nízku mieru výtoku a dokáže udržať stabilné vákuové prostredie. Okrem toho, presnosť s vysokou obrábaním žuly umožňuje vytvorenie dokonalého tesnenia, ktoré poskytuje spoľahlivé vákuové prostredie na spracovanie oblátkov.
Subsystém zarovnania je ďalší kritický systém, ktorý využíva jedinečné vlastnosti žuly. Tento subsystém je zodpovedný za zarovnanie rôznych častí polovodičových zariadení s presnosťou a presnosťou. Žula sa používa pri navrhovaní a konštrukcii stupňov zarovnania, aby sa zabezpečila vysoká tuhosť a stabilita. Vysoká tuhosť žuly pomáha pri dosahovaní vysokej presnosti zarovnania, čo vedie k výrobe vysoko presných a spoľahlivých polovodičových zariadení.
Nakoniec je metrológový subsystém ďalší systém polovodičových zariadení, ktoré využívajú žulu. Metrológia zohráva pri spracovaní doštičiek zásadnú úlohu a presnosť tohto subsystému je rozhodujúca pri zabezpečovaní kvality zariadenia. Žula poskytuje stabilnú a tuhú plošinu, ktorá pomáha pri znižovaní vibrácií a minimalizácii účinku kolísania teploty. To zase pomáha pri dosahovaní vysoko presných meraní v metrologickom subsystéme, čo vedie k výrobe vysoko kvalitných polovodičových zariadení.
Záverom je, že žula je rozhodujúcim materiálom pri výrobe polovodičových zariadení. Je to jedinečné vlastnosti, ako je vysoká tuhosť, nízka tepelná expanzia a vynikajúca tepelná vodivosť z neho robí vynikajúci materiál pre niekoľko subsystémov v polovodičových zariadeniach, vrátane manipulácie a spracovania doštičiek, vákuového subsystému, zarovnania subsystému a metrologického subsystému. Použitie žuly v polovodičových zariadeniach navyše pomohlo pri výrobe vysoko presných, spoľahlivých a efektívnych zariadení, ktoré transformovali početné odvetvia.
Čas príspevku: mar-19-2024