V zariadeniach na výrobu polovodičov a optoelektroniky sa žula používa hlavne v kľúčových častiach, ako sú presné pohyblivé plošiny, základne vodiacich koľajníc, nosné konštrukcie na izoláciu vibrácií a substráty na inštaláciu optických komponentov. Tieto časti majú extrémne vysoké požiadavky na presnosť, stabilitu a odolnosť voči prostrediu. Vlastnosti žuly dokážu presne splniť prísne požiadavky polovodičového a optoelektronického priemyslu. Nasleduje analýza špecifických scenárov použitia a výhod:
I. Hlavné časti aplikácie
Presné pohyblivé platformy (ako napríklad platformy na výrobu doštičiek pre fotolitografické stroje a spojovacie stroje)
Používa sa na prepravu presných komponentov, ako sú doštičky a optické šošovky, pričom dosahuje translačné a rotačné pohyby s presnosťou v nanorozmeroch.
Typické vybavenie: stôl obrobku fotolitografického stroja, polohovacia plošina meracieho zariadenia.
Základňa vodiacej lišty a rámová konštrukcia
Ako inštalačná základňa pre lineárne vedenia a vedenia pre flotáciu vzduchu podporuje mechanizmus pohybu jadra zariadenia.
Typické vybavenie: mechanické rámy zariadení na balenie polovodičov a optické kontrolné prístroje.
Podpora vibračnej izolácie a stabilizačná konštrukcia
Používa sa na izoláciu vonkajších vibrácií (ako sú vibrácie z výrobnej haly alebo počas prevádzky zariadení), čím sa zabezpečí stabilita optických systémov alebo presných strojov.
Typické scenáre: Základná podpora pre optické mikroskopy a laserové interferometre.
Montážny substrát optických komponentov
Upevnite optické zariadenia, ako sú zrkadlá, hranoly a lasery, aby ste zabezpečili dlhodobú stabilitu presnosti nastavenia optického systému dráhy.
Typické zariadenia: Optoelektronické baliace zariadenia, systémy na spájanie optických vlákien.
Čas uverejnenia: 29. mája 2025