V oblastiach, ako je výroba polovodičov a presné meracie prístroje, presnosť presných žulových plošín priamo určuje prevádzkovú kvalitu zariadenia. Aby sa zabezpečilo, že presnosť platformy spĺňa normy, malo by sa vynaložiť úsilie z dvoch hľadísk: detekcia kľúčových ukazovateľov a dodržiavanie štandardných noriem.
Detekcia základného indikátora: Viacrozmerná kontrola presnosti
Detekcia rovinnosti: Určenie „rovnosti“ referenčnej roviny
Rovinnosť je hlavným ukazovateľom presných žulových plošín a zvyčajne sa meria laserovými interferometrami alebo elektronickými vodováhami. Laserový interferometer dokáže presne merať drobné nerovnosti na povrchu plošiny vyžarovaním laserového lúča a využitím princípu interferencie svetla s presnosťou dosahujúcou submikrónovú úroveň. Elektronická vodováha meria viacnásobným pohybom a kreslí trojrozmernú kontúrovú mapu povrchu plošiny, aby zistila, či sa na nej nachádzajú nejaké lokálne výčnelky alebo priehlbiny. Napríklad žulové plošiny používané v polovodičových fotolitografických strojoch musia mať rovinnosť ±0,5 μm/m, čo znamená, že výškový rozdiel v rámci dĺžky 1 meter by nemal presiahnuť pol mikrometra. Tento prísny štandard je možné zabezpečiť iba pomocou vysoko presného detekčného zariadenia.
2. Detekcia priamosti: Zabezpečenie „priamosti“ lineárneho pohybu
Pre plošiny, ktoré nesú presné pohyblivé časti, je priamosť mimoriadne dôležitá. Bežnými metódami detekcie sú drôtová metóda alebo laserový kolimátor. Drôtová metóda zahŕňa zavesenie vysoko presných oceľových drôtov a porovnanie medzery medzi povrchom plošiny a oceľovými drôtmi na určenie priamosti. Laserový kolimátor využíva lineárne charakteristiky šírenia laseru na detekciu lineárnej chyby inštalačného povrchu vodiacej koľajnice plošiny. Ak priamosť nespĺňa normu, spôsobí to posun zariadenia počas pohybu, čo ovplyvní presnosť spracovania alebo merania.
3. Detekcia drsnosti povrchu: Zabezpečenie „jemnosti“ kontaktu
Drsnosť povrchu plošiny ovplyvňuje uloženie inštalácie komponentov. Na detekciu sa vo všeobecnosti používa drsnomer s dotykovým perom alebo optický mikroskop. Prístroj s dotykovým perom zaznamenáva zmeny výšky mikroskopického profilu kontaktom povrchu plošiny jemnou sondou. Optické mikroskopy dokážu priamo pozorovať textúru povrchu. Vo vysoko presných aplikáciách je potrebné regulovať drsnosť povrchu žulových plošín na Ra ≤ 0,05 μm, čo je ekvivalent zrkadlového efektu, čím sa zabezpečí, že presné komponenty počas inštalácie tesne zapadnú a zabráni sa vibráciám alebo posunutiu spôsobenému medzerami.
Normy presnosti sa riadia: medzinárodnými normami a internou kontrolou podniku
V súčasnosti sa na medzinárodnej úrovni bežne používajú normy ISO 25178 a GB/T 24632 ako základ pre určovanie presnosti žulových plošín a existujú jasné klasifikácie ukazovateľov, ako je rovinnosť a priamosť. Okrem toho, špičkové výrobné podniky často stanovujú prísnejšie štandardy vnútornej kontroly. Napríklad požiadavka na rovinnosť žulovej plošiny fotolitografického stroja je o 30 % vyššia ako medzinárodná norma. Pri vykonávaní testov by sa namerané údaje mali porovnávať s príslušnými normami. Iba plošiny, ktoré plne spĺňajú normy, môžu zabezpečiť stabilný výkon presných zariadení.
Kontrola presnosti presných žulových plošín je systematický projekt. Iba prísnym testovaním základných ukazovateľov, ako je rovinnosť, priamosť a drsnosť povrchu, a dodržiavaním medzinárodných a podnikových noriem možno zaručiť vysokú presnosť a spoľahlivosť platformy, čím sa položí pevný základ pre špičkové výrobné oblasti, ako sú polovodiče a presné prístroje.
Čas uverejnenia: 21. mája 2025