IV priemysle výroby polovodičov je presnosť zariadení na kontrolu doštičiek kľúčová pre zabezpečenie kvality integrovaných obvodov. Vysoko presné žulové základne strojov, ako sú tie, ktoré poskytuje spoločnosť ZHHIMG®, zohrávajú kľúčovú úlohu pri zvyšovaní výkonu takýchto zariadení. Tu je návod, ako to dokážu.
Výnimočná rozmerová stabilitaŽula sa môže pochváliť extrémne nízkym koeficientom tepelnej rozťažnosti, približne (4–8)×10⁻⁶/℃, čo je výrazne menej ako u mnohých kovov. V prísne kontrolovanom prostredí tovární na polovodiče, kde aj malé výkyvy teploty môžu spôsobiť chyby merania, zostávajú základne strojov zo žuly stabilné. Táto stabilita zaisťuje presné umiestnenie komponentov v zariadeniach na kontrolu doštičiek, čím sa zabráni akýmkoľvek tepelne vyvolaným odchýlkam, ktoré by mohli ovplyvniť presnosť výsledkov kontroly.
Vynikajúce tlmenie vibráciíVýrobné podlahy sú často plné vibrácií z rôznych zdrojov. Vlastnosti žuly, ktoré sú prirodzene tlmiace, s tlmiacim pomerom 0,05 – 0,1 tieto vibrácie účinne absorbujú a rozptyľujú. Pre inšpekciu doštičiek
Pri výrobe, ktorá vyžaduje zobrazovanie s vysokým rozlíšením a presné odčítanie údajov zo senzorov, je zníženie vibrácií, ktoré poskytujú žulové základne, neoceniteľné. Minimalizuje rušenie, ktoré by mohlo rozmazať obrazy alebo skresliť údaje zo senzorov, čo umožňuje zariadeniu zachytiť jasné a presné informácie o povrchu a vnútornej štruktúre doštičky.
Vysoká tuhosť a odolnosť voči opotrebovaniuS hustotou približne 3100 kg/m³ ponúkajú žulové základne strojov ZHHIMG® pozoruhodnú tuhosť. Dokážu uniesť ťažké komponenty zariadení na kontrolu doštičiek bez deformácie a zachovať tak zarovnanie optických a mechanických systémov. Vysoká tvrdosť žuly (Mohsova stupnica 6–7) a vynikajúca odolnosť voči opotrebovaniu navyše zabezpečujú, že povrch základne stroja zostáva v priebehu času rovný a hladký. Táto konzistencia je nevyhnutná pre dlhodobú presnosť, pretože akékoľvek opotrebenie alebo deformácia základne by mohla postupne znižovať presnosť zariadenia.
Chemická inertnosťVýroba polovodičov zahŕňa vystavenie rôznym chemikáliám. Chemická inertnosť žuly ju robí odolnou voči korózii spôsobenej týmito látkami. Táto vlastnosť chráni integritu základne stroja a zabraňuje poškodeniu spôsobenému chemickými látkami, ktoré by mohlo ovplyvniť stabilitu a presnosť kontrolného zariadenia.
Záverom možno povedať, že vysoko presné žulové základne strojov nie sú len komponentom, ale kľúčovým faktorom na dosiahnutie presných požiadaviek na presnosť zariadení na kontrolu doštičiek. Pri výbere žulových základov strojov sa rozhodnite pre dôveryhodných dodávateľov, ako je ZHHIMG®. Vďaka viacerým certifikáciám a záväzku ku kvalite spoločnosť ZHHIMG® zaručuje, že každá žulová základňa stroja poskytuje spoľahlivosť a výkon potrebný pre pokročilú výrobu polovodičov.
Čas uverejnenia: 3. júna 2025