V oblasti výroby polovodičov je submikrónová presnosť kľúčom k zabezpečeniu výkonu čipu a žulová základňa (ZHHIMG®) sa svojimi materiálovými vlastnosťami, presným spracovaním a inovatívnym dizajnom stala základnou zárukou dosiahnutia tejto presnosti.
Z hľadiska materiálových vlastností má čierna žula vybraná spoločnosťou ZHHIMG® hustotu približne 3100 kg/m³ s hustou vnútornou štruktúrou. Táto vysoká hustota jej dodáva vynikajúcu stabilitu a tuhosť. Počas prevádzky polovodičových zariadení dochádza k vibráciám v dôsledku rotácie motorov a pohybu mechanických komponentov vo vnútri zariadenia. Žulová základňa dokáže účinne absorbovať viac ako 90 % vibračnej energie, čím výrazne znižuje vplyv vibrácií na presnosť zariadenia. Zároveň jej extrémne nízky koeficient tepelnej rozťažnosti umožňuje udržiavať deformáciu vo veľmi malom rozsahu pri kolísaní okolitej teploty, čím poskytuje stabilný základ pre polovodičové zariadenia a zabraňuje posunutiu komponentov zariadenia v dôsledku zmien teploty, čo by mohlo ovplyvniť presnosť.
Pokiaľ ide o spracovanie a výrobu, továreň ZHHIMG® využíva medzinárodné pokročilé spracovateľské zariadenia a má štyri super veľké brúsky (každý stroj stojí viac ako 500 000 USD), ktoré dokážu vykonávať vysoko presné brúsenie žuly. Vďaka päťosovému CNC obrábaniu a ďalším procesom môže rovinnosť základne stroja dosiahnuť nanometrovú úroveň, čo poskytuje ultra plochý referenčný povrch pre inštaláciu polovodičových zariadení a zaisťuje presné umiestnenie každej súčasti zariadenia. Okrem toho dielňa s konštantnou teplotou a vlhkosťou (s rozlohou 10 000 metrov štvorcových) poskytuje stabilné prostredie pre spracovanie. Antivibračné priekopy okolo nej so šírkou 500 mm a hĺbkou 2 000 mm, ako aj tiché žeriavy, účinne izolujú vonkajšie vibračné rušenie a zabezpečujú presnosť spracovania základne stroja.
Okrem toho má ZHHIMG® aj silné možnosti prispôsobenia. Pre špeciálne požiadavky polovodičových zariadení je možné prefabrikovať presné inštalačné otvory a káblové žľaby, aby sa dosiahla dokonalá kompatibilita medzi zariadením a základňou. Zároveň v kombinácii so špičkovým metrologickým a testovacím zariadením, ako je nemecký minútový merač Mahr (s presnosťou 0,5 μm) a švajčiarska elektronická vodováha WYLER, je základňa stroja prísne kontrolovaná a kalibrovaná, aby sa zabezpečilo, že každá základňa stroja spĺňa prísne požiadavky polovodičových zariadení na presnosť na úrovni submikrónov.
Práve kombinácia týchto výhod robí zo žulového podstavca ZHHIMG® spoľahlivú voľbu na dosiahnutie submikrónovej presnosti v polovodičových zariadeniach, čo pomáha výrobe polovodičov posunúť sa do oblastí s vyššou presnosťou.
Čas uverejnenia: 18. júna 2025