V presnom svete výroby polovodičov je nedeštruktívne testovanie doštičiek kľúčovým článkom na zabezpečenie kvality čipov. Zdanlivo nevýznamná žulová základňa je v skutočnosti „neospevovaným hrdinom“, ktorý určuje presnosť detekcie. Ako to, preboha, ovplyvňuje výsledky testov? Tento článok vykoná hĺbkovú analýzu z hľadiska vlastností materiálu a konštrukčného riešenia.
1. Stabilný základ: Prirodzené výhody žuly kladú pevný základ pre presnosť
1. Vynikajúci seizmický výkon
Počas prevádzky zariadenia na nedeštruktívne testovanie doštičiek doštičiek dochádza k vibráciám spôsobeným otáčaním motora a pohybom mechanických komponentov. Ak tieto vibrácie nie sú účinne potlačené, môžu vážne ovplyvniť presnosť testovania. Vnútro žuly je úzko prepletené s minerálnymi kryštálmi, ako je kremeň a živec. Jej jedinečná štruktúra jej dáva prirodzenú schopnosť absorbovať vibrácie, ktorá dokáže absorbovať viac ako 90 % vibračnej energie zariadenia. Skutočné merania od istého výrobcu polovodičov ukazujú, že po použití žulovej základne sa amplitúda vibrácií detekčného zariadenia znížila z 12 μm na 2 μm, čím sa účinne zabráni odchýlke detekčného signálu spôsobenej vibráciami.
2. Extrémne nízky koeficient tepelnej rozťažnosti
Počas procesu detekcie faktory, ako je zahrievanie zariadenia a zmeny teploty prostredia, ovplyvňujú stabilitu základne stroja. Bežné materiály sa pri zahrievaní výrazne rozťahujú, ale koeficient tepelnej rozťažnosti žuly je iba 1/5 koeficientu tepelnej rozťažnosti ocele. Aj keď teplota okolia kolíše o 10 ℃, jej deformáciu možno ignorovať. To umožňuje žulovej základni poskytovať stabilnú referenčnú platformu pre kontrolné zariadenie, čím sa zabezpečí, že relatívna poloha medzi kontrolnou sondou a doštičkou zostane vždy presná a zabráni sa chybám pri kontrole spôsobeným tepelnou deformáciou.
Po druhé, presný návrh: Štrukturálna optimalizácia ďalej zvyšuje spoľahlivosť detekcie
Vysoko presné spracovanie a záruka rovinnosti
Vysokokvalitná žulová základňa je spracovaná pokročilou päťosovou CNC technológiou s rovinnosťou ±0,5 μm/m, čo poskytuje ultraplochú inštalačnú referenciu pre inšpekčné zariadenia. Pri kontrole doštičiek je pre výsledky kontroly kľúčová zvislosť a rovinnosť inšpekčnej sondy. Vysoko presná žulová základňa dokáže zabezpečiť presné umiestnenie sondy, vďaka čomu sú inšpekčné údaje presnejšie a spoľahlivejšie.
2. Prispôsobenie konštrukcie na mieru
Žulové základne strojov je možné prispôsobiť rôznym zariadeniam na nedeštruktívne testovanie doštičiek a procesným požiadavkám. Napríklad, aby sa splnili požiadavky optických kontrolných zariadení na odraz svetla, povrch základne stroja môže byť špeciálne upravený; aby sa splnili požiadavky na inštaláciu ultrazvukových testovacích zariadení, základňa môže byť prefabrikovaná s presnými inštalačnými otvormi a káblovými žľabmi, čo umožňuje rýchlu a presnú inštaláciu zariadenia a znižuje odchýlky detekcie spôsobené chybami pri inštalácii.
Iii. Dlhodobá stabilita: Zníženie strát presnosti spôsobených údržbou zariadení
Žula má vysokú tvrdosť a vysokú odolnosť proti opotrebovaniu s Mohsovou tvrdosťou 6 až 7, čo je trikrát vyššia odolnosť proti opotrebovaniu ako bežná oceľ. Počas dlhodobých kontrolných operácií nie je povrch základne stroja náchylný na opotrebovanie a vždy si udržiava dobrý stav presnosti. Naproti tomu základne vyrobené z iných materiálov môžu v dôsledku opotrebovania spôsobiť zmeny v inštalačnej referencii zariadenia, čo ovplyvňuje presnosť detekcie a vyžaduje si častú kalibráciu a údržbu. Dlhá životnosť a vysoká stabilita žulovej základne účinne znižujú frekvenciu údržby zariadenia a znižujú riziko straty presnosti, ku ktorej môže dôjsť počas procesu údržby.
Od odolnosti voči nárazom a teplu až po presný dizajn, každá vlastnosť žulového podstavca zabezpečuje presnosť nedeštruktívneho testovania doštičiek. V dnešnej ére výroby polovodičov, ktorá sa snaží o maximálnu presnosť, je výber vysokokvalitného žulového podstavca ako pridanie pevnej vrstvy poistenia k presnosti a spoľahlivosti výsledkov testov.
Čas uverejnenia: 18. júna 2025