V dielni na výrobu polovodičov sú požiadavky procesu výroby čipov na podmienky prostredia a presnosť zariadení extrémne a akákoľvek malá odchýlka môže viesť k výraznému poklesu výťažnosti čipu. Presná portálová pohyblivá platforma XYZT sa spolieha na žulové komponenty, ktoré spolupracujú s ostatnými časťami platformy a vytvárajú pevný základ pre dosiahnutie presnosti v nanorozmeroch.
Vynikajúce vlastnosti blokovania vibrácií
V dielni na výrobu polovodičov môže prevádzka periférnych zariadení a pohyb personálu spôsobovať vibrácie. Vnútorná štruktúra žulových komponentov je hustá a rovnomerná s prirodzene vysokými tlmiacimi vlastnosťami, ako účinná vibračná „bariéra“. Keď sa vonkajšie vibrácie prenášajú na platformu XYZT, žulový komponent dokáže účinne tlmiť viac ako 80 % vibračnej energie a znížiť rušenie vibrácií na presnosť pohybu platformy. Zároveň je platforma vybavená vysoko presným systémom vzduchového plavákového vedenia, ktorý pracuje v spojení s žulovými komponentmi. Vzduchové plavákové vedenie využíva stabilný plynový film vytvorený vysokotlakovým plynom na realizáciu bezkontaktného pohybu zavesenia pohyblivých častí platformy a zníženie malých vibrácií spôsobených mechanickým trením. Spoločne tieto dva prvky zabezpečujú, že presnosť polohovania platformy je vždy udržiavaná na nanometrovej úrovni v kľúčových procesoch, ako je litografia a leptanie čipov, a zabraňujú odchýlkam vzorov obvodov čipov spôsobeným vibráciami.
Vynikajúca tepelná stabilita
Kolísanie teploty a vlhkosti v dielni má veľký vplyv na presnosť zariadení na výrobu triesok. Koeficient tepelnej rozťažnosti žuly je veľmi nízky, zvyčajne 5-7 × 10⁻⁶/℃, pričom veľkosť sa pri zmene teploty takmer nemení. Aj keď teplotný rozdiel medzi dňom a nocou v dielni alebo produkcia tepla zariadením spôsobuje kolísanie okolitej teploty, žulové komponenty zostávajú stabilné, aby sa zabránilo deformácii plošiny v dôsledku tepelnej rozťažnosti a sťahovania. Inteligentný systém regulácie teploty, ktorým je plošina vybavená, zároveň monitoruje okolitú teplotu v reálnom čase, automaticky upravuje klimatizáciu a zariadenia na odvod tepla a udržiava teplotu v dielni na 20 °C ± 1 °C. V kombinácii s výhodami tepelnej stability žuly sa zabezpečuje, že pri dlhodobej prevádzke plošiny presnosť pohybu každej osi vždy spĺňa nanometrové štandardy presnosti výroby čipov, aby sa zabezpečila presnosť veľkosti litografického vzoru čipu a rovnomerná hĺbka leptania.
Splňte požiadavky čistého životného prostredia
Výrobňa polovodičov musí udržiavať vysoký stupeň čistoty, aby sa zabránilo kontaminácii čipu prachovými časticami. Samotný žulový materiál neprodukuje prach a jeho povrch je hladký, takže prach ľahko neabsorbuje. Celá platforma má plne uzavretú alebo polouzavretú konštrukciu, aby sa znížil vstup vonkajšieho prachu. Vnútorný systém cirkulácie vzduchu je prepojený s čistým klimatizačným systémom dielne, aby sa zabezpečilo, že čistota vnútorného vzduchu dosiahne úroveň požadovanú pre výrobu čipov. V tomto čistom prostredí žulové komponenty neovplyvnia výkon v dôsledku erózie prachu a kľúčové komponenty platformy, ako sú vysoko presné senzory a motory, môžu tiež stabilne fungovať, čo poskytuje nepretržitú a spoľahlivú záruku presnosti v nanorozmeroch pre výrobu čipov a pomáha polovodičovému priemyslu posunúť sa na vyššiu úroveň procesov.
Čas uverejnenia: 14. apríla 2025