V oblasti špičkovej výroby a najmodernejšieho vedeckého výskumu sa ultrapresný pohybový modul vzduchového plaváka stal kľúčovým zariadením pre jemnú prevádzku a meranie vďaka svojmu vynikajúcemu presnému výkonu. Presná žulová základňa ako nosné jadro má prísne požiadavky na pracovné prostredie a vhodné podmienky prostredia sú základom pre zabezpečenie jeho stabilného výkonu a najlepšieho efektu.
Po prvé, regulácia teploty: presný „stabilizátor“
Hoci je žula známa svojou stabilitou, nie je úplne imúnna voči teplotným zmenám. Aj keď je jej koeficient tepelnej rozťažnosti nízky, zvyčajne 5-7 × 10⁻⁶/℃, v scenároch ultra-presného riadenia pohybu môžu jemné teplotné výkyvy stále spôsobiť rozmerové zmeny a ovplyvniť presnosť modulu. V dielni na výrobu polovodičových čipov vyžaduje litografický proces presnosť polohovania na úrovni danami a teplota okolia kolíše o 1 °C, takže žulová základňa s dĺžkou strany 1 meter môže spôsobiť lineárne roztiahnutie alebo stiahnutie o 5-7 mikrónov. Táto malá zmena sa prenáša ultra-presným pohybovým modulom vzduchového plaváka, čo stačí na to, aby sa litografický vzor čipu odchýlil a výrazne sa znížil výťažok. Preto, vybavený presnou žulovou základňou pre vzduchom plávajúci ultrapresný pohybový modul, by ideálna teplota pracovného prostredia mala byť regulovaná na 20 °C ± 1 °C, pomocou vysoko presného zariadenia na udržiavanie konštantnej teploty, ako je systém klimatizácie s konštantnou teplotou a vlhkosťou, nepretržitým monitorovaním a nastavovaním teploty okolia, aby sa zabezpečilo, že teplotné výkyvy sú vo veľmi malom rozsahu, udržiavanie stability veľkosti základne, aby sa zabezpečila vysoko presná prevádzka modulu.
Po druhé, regulácia vlhkosti: kľúč k ochrane proti vlhkosti „kameňa“
Vlhkosť je ďalším dôležitým faktorom ovplyvňujúcim výkon presnej žulovej základne. V prostredí s vysokou vlhkosťou žula ľahko absorbuje vodnú paru, čo môže viesť ku kondenzácii na povrchu. To nielenže ovplyvňuje stabilitu spojenia žuly a ultra presného pohybového modulu vzduchového plaváka, ale môže tiež spôsobiť eróziu povrchu a z dlhodobého hľadiska znížiť lesk a presnosť. V dielni na brúsenie optických šošoviek, ak je vlhkosť dlhodobo vyššia ako 60 % relatívnej vlhkosti, vodná para adsorbovaná na povrchu žulovej základne bude narúšať pohyb posúvača plynového plaváka, čím sa zníži presnosť brúsenia šošoviek a povrch sa poškodí. Preto by sa relatívna vlhkosť pracovného prostredia mala prísne kontrolovať medzi 40 % a 60 % relatívnej vlhkosti a mala by sa monitorovať a upravovať v reálnom čase inštaláciou odvlhčovačov, snímačov vlhkosti a iného zariadenia, aby sa predišlo poškodeniu žulovej základne v dôsledku vysokej vlhkosti a aby sa zabezpečila plynulá prevádzka ultra presného pohybového modulu vzduchového plaváka.
Po tretie, záruka čistoty: „strážca“ presnosti
Škodlivé účinky prachových častíc na presnú žulovú základňu ultrapresného pohybového modulu vzduchovej flotácie nemožno podceňovať. Keď drobné častice vstúpia do medzery plynového filmu medzi posúvačom plynového plaváka a žulovou základňou, môžu narušiť rovnomernosť plynového filmu, zvýšiť trenie a dokonca poškriabať povrch základne, čo vedie k zníženiu presnosti pohybu. V dielni ultrapresného obrábania leteckých dielov, ak prachové častice zo vzduchu dopadnú na žulovú základňu, trajektória pohybu obrábacieho nástroja sa môže odchýliť, čo ovplyvní presnosť obrábania dielov. Preto by sa pracovný priestor mal udržiavať vo vysokej čistote, s úrovňou čistoty 10 000 alebo aj vyššou, a to inštaláciou zariadení na čistenie vzduchu, ako sú vysokoúčinné vzduchové filtre (HEPA), ktoré filtrujú prachové častice zo vzduchu. Zároveň by mal personál nosiť bezprašné oblečenie, návleky na obuv atď., aby sa znížilo množstvo prachu spôsobeného ľuďmi. Udržiavajte vysoko presné prevádzkové prostredie žulovej základne a ultrapresného pohybového modulu vzduchového plaváka.
Po štvrté, izolácia vibrácií: plynulý chod „tlmiča vibrácií“
Vonkajšie vibrácie sú nepriateľom presnosti ultrapresného pohybového modulu vzduchového plaváka. Hoci má presná žulová základňa určitú schopnosť tlmenia vibrácií, vibrácie s vysokou silou môžu stále prekročiť jej vyrovnávací limit. Vibrácie generované premávkou v okolí továrne a prevádzkou veľkých mechanických zariadení sa prenášajú na žulovú základňu cez zem, čo narúša presnosť pohybu ultrapresného pohybového modulu vzduchového plaváka. Pri špičkových súradnicových měřiacich strojoch môžu vibrácie spôsobiť nestabilitu kontaktu medzi meracou sondou a meraným obrobkom, čo vedie k odchýlkam nameraných údajov. Na vyriešenie tohto problému je potrebné prijať účinné opatrenia na izoláciu vibrácií, ako je položenie podložiek na izoláciu vibrácií v oblasti inštalácie zariadenia, vybudovanie základov na izoláciu vibrácií alebo použitie aktívneho systému izolácie vibrácií na aktívne vyrovnanie vonkajších vibrácií a vytvorenie tichého a stabilného pracovného prostredia pre presnú žulovú základňu a ultrapresný pohybový modul vzduchového plaváka.
Len úplným splnením environmentálnych požiadaviek na teplotu, vlhkosť, čistotu a kontrolu vibrácií môže žulová presná základňa ultrapresného pohybového modulu vzduchového plaváka naplno využiť svoje výkonnostné výhody, poskytnúť spoľahlivú záruku ultrapresných operácií v rôznych oblastiach a pomôcť priemyslu posunúť sa smerom k vyššej úrovni presnej výroby a vedeckého výskumu.
Čas uverejnenia: 8. apríla 2025