V oblastiach presnej výroby a vedeckého výskumu je rovinnosť presných žulových plošín kľúčovým ukazovateľom na zabezpečenie presnosti zariadení. Nasleduje podrobný úvod do niekoľkých bežných metód detekcie a ich prevádzkových postupov.
I. Metóda detekcie laserovým interferometrom
Laserový interferometer je preferovaným nástrojom na vysoko presnú detekciu rovinnosti. Vezmime si ako príklad laserový interferometer ZYGO GPI XP, ktorého rozlíšenie môže dosiahnuť 0,1 nm. Pri vykonávaní detekcie sa najprv zarovná svetelný zdroj interferometra s plošinou a povrch plošiny sa rozdelí na mriežkové oblasti s rozmermi 50 mm × 50 mm. Následne sa bod po bode zhromaždili údaje o interferenčných prúžkoch a údaje sa fitovali a analyzovali pomocou Zernikeho polynómu na získanie chyby rovinnosti. Táto metóda je použiteľná pre vysoko presné plošiny a dokáže detekovať chyby rovinnosti ≤ 0,5 μm/m². Bežne sa používa pri detekcii fotolitografických strojov a špičkových platforiem trojsúradnicových meracích strojov.
II. Metóda elektronického nivelačného poľa
Detekcia pomocou poľa elektronickej vodováhy je jednoduchá na obsluhu a vysoko efektívna. Bola zvolená elektronická vodováha TESA A2 (s rozlíšením 0,01 μm/m) a usporiadaná do poľa 9×9 pozdĺž smeru osi X/Y plošiny. Synchrónnym zberom údajov o sklone každej úrovne a následným použitím metódy najmenších štvorcov na výpočet je možné presne získať hodnotu rovinnosti. Táto metóda dokáže efektívne identifikovať lokálne konkávne a konvexné podmienky plošiny. Napríklad je možné zistiť aj kolísanie 0,2 μm v rozsahu 50 mm, čo je vhodné na rýchlu detekciu v hromadnej výrobe.
Iii. Metóda optických plochých kryštálov
Metóda optického plochého kryštálu je vhodná na detekciu plošín s malou plochou. Optický plochý kryštál pevne pripevnite k testovanému povrchu na platforme a pozorujte interferenčné prúžky vytvorené medzi nimi pod osvetlením monochromatickým svetelným zdrojom (napríklad sodíkovou výbojkou). Ak sú pruhy rovnobežné a rovné, naznačuje to dobrú rovinnosť. Ak sa objavia zakrivené pruhy, vypočítajte chybu rovinnosti na základe stupňa zakrivenia pruhov. Každý zakrivený pruh predstavuje výškový rozdiel 0,316 μm a údaje o rovinnosti je možné získať jednoduchým prepočtom.
Štvrtá. Metóda kontroly trojsúradnicového meracieho stroja
Trojsúradnicový merací stroj dokáže dosiahnuť vysoko presné meranie v trojrozmernom priestore. Umiestnite žulovú plošinu na pracovný stôl meracieho stroja a pomocou sondy rovnomerne zhromažďujte údaje z viacerých meracích bodov na povrchu plošiny. Systém meracieho stroja tieto údaje spracuje a analyzuje, aby vygeneroval správu o rovinnosti plošiny. Táto metóda dokáže nielen zistiť rovinnosť, ale súčasne získať aj ďalšie geometrické parametre plošiny a je vhodná na komplexnú detekciu veľkých žulových plošín.
Zvládnutie týchto detekčných metód vám môže pomôcť presne posúdiť rovinnosť presnej žulovej plošiny a poskytnúť spoľahlivú záruku stabilnej prevádzky presných zariadení.
Čas uverejnenia: 29. mája 2025