Presná revolúcia vo výrobe polovodičov: Keď sa žula stretne s mikrónovou technológiou
1.1 Neočakávané objavy v materiálovej vede
Podľa správy Medzinárodnej asociácie polovodičov SEMI z roku 2023 začalo 63 % svetových moderných tovární používať žulové základne namiesto tradičných kovových platforiem. Tento prírodný kameň, ktorý pochádza z kondenzácie magmy hlboko v Zemi, prepisuje históriu výroby polovodičov vďaka svojim jedinečným fyzikálnym vlastnostiam:
Výhoda tepelnej zotrvačnosti: koeficient tepelnej rozťažnosti žuly 4,5 × 10⁻⁶/℃ je iba 1/5 koeficientu tepelnej rozťažnosti nehrdzavejúcej ocele a rozmerová stabilita ± 0,001 mm sa udržiava pri nepretržitej práci litografického stroja.
Charakteristiky tlmenia vibrácií: koeficient vnútorného trenia je 15-krát vyšší ako u liatiny, čím účinne absorbuje mikrovibrácie zariadenia
Nulová magnetizácia: úplne eliminuje magnetickú chybu pri laserovom meraní
1.2 Metamorfóza od bane k továrni
Ak vezmeme ako príklad inteligentnú výrobnú základňu spoločnosti ZHHIMG v provincii Shandong, kus surovej žuly musí prejsť:
Ultra presné obrábanie: päťosové obrábacie centrum s kĺbovým spojom pre 200 hodín nepretržitého frézovania, drsnosť povrchu až do Ra0,008 μm
Umelé starnutie: 48 hodín prirodzeného uvoľnenia napätia v dielni s konštantnou teplotou a vlhkosťou, čo zlepšuje stabilitu produktu o 40 %.
Po druhé, rozlúsknite šesť problémov s presnosťou výroby polovodičov „skalné riešenie“
2.1 Schéma znižovania miery fragmentácie doštičiek
Prípadová ukážka: Po zavedení našej plynom plávajúcej žulovej platformy v zlievarni triesok v Nemecku:
| Priemer doštičky | zníženie rýchlosti čipov | zlepšenie rovinnosti |
| 12 palcov | 67 % | ≤0,001 mm |
| 18 palcov | 82 % | ≤0,0005 mm |
2.2 Schéma prelomu presnosti litografického zarovnania
Systém teplotnej kompenzácie: zabudovaný keramický senzor monitoruje tvarovú premennú v reálnom čase a automaticky upravuje sklon plošiny
Namerané údaje: pri kolísaní teploty 28 ℃ ± 5 ℃ kolíše presnosť vkladania menej ako 0,12 μm
Čas uverejnenia: 24. marca 2025