Žulová platforma ako referenčný nástroj na presné meranie a spracovanie má priamy vplyv na kvalitu výroby a jej presnosť. Nasledujúci text poskytuje systematický plán údržby zahŕňajúci kontrolu prostredia, dennú údržbu a profesionálnu kalibráciu, aby sa zabezpečilo, že platforma si dlhodobo zachováva presnosť na úrovni nanometrov.
1. Kontrola prostredia: Vytvorte presnú ochrannú bariéru
Riadenie teploty a vlhkosti
Teplota pracovného prostredia sa musí stabilizovať na 20 ± 1 ℃. Každé kolísanie o 1 ℃ spôsobí tepelnú deformáciu žulovej plošiny o 0,5 – 1 μm/m. V dielni je možné nainštalovať systém konštantnej teploty, aby sa zabránilo priamemu fúkaniu vzduchu z klimatizačných otvorov na plošinu.
Vlhkosť by sa mala udržiavať v rozmedzí od 40 % do 60 %. Nadmerná vlhkosť môže ľahko spôsobiť hrdzavenie kovových častí, zatiaľ čo príliš nízka vlhkosť môže viesť k rušeniu merania vplyvom statickej elektriny.
Izolácia vibrácií
Plošina by mala byť umiestnená mimo zdrojov vibrácií, ako sú raziace stroje a frézky. Odporúča sa dodržiavať vzdialenosť viac ako 3 metre od vibračných zariadení.
Ak sa vibráciám nedá vyhnúť, na spodnú časť plošiny je možné nainštalovať tlmiče nárazov s pneumatickými pružinami, aby sa znížil vplyv vibrácií prostredia na rovinnosť plošiny (čo môže znížiť vonkajšie vibrácie o viac ako 80 %).
2. Denná údržba: Dôkladná kontrola od čistenia až po ochranu
Špecifikácia čistenia povrchov
Odstraňovanie prachu: Povrch utierajte jeleňou kožou alebo handričkou, ktorá nepúšťa vlákna, každý deň v rovnakom smere, aby ste zabránili poškriabaniu plošiny prachovými časticami (≥5 μm). Odolné škvrny je možné jemne utrieť bezvodým etanolom (čistota ≥99,7 %). Nesmú sa používať silné rozpúšťadlá, ako je acetón.
Odmasťovanie: Ak sa dostane do kontaktu s olejovými škvrnami, utrite ho zriedeným neutrálnym čistiacim prostriedkom, potom opláchnite deionizovanou vodou a nechajte uschnúť na vzduchu, aby ste zabránili prenikaniu minerálneho oleja do malých pórov plošiny.
Ochrana pred nákladom a kolíziou
Nosnosť plošiny by sa mala kontrolovať v rozmedzí 70 % menovitého zaťaženia (napríklad pre plošinu s hmotnosťou 1 000 kg sa odporúča, aby zaťaženie bolo ≤ 700 kg), aby sa predišlo trvalej deformácii spôsobenej lokálnym preťažením.
Je prísne zakázané udierať obrobkami o plošinu. Pri manipulácii s nástrojmi noste mäkké rukavice, aby ste zabránili poškriabaniu povrchu ostrými predmetmi (škrabance s hĺbkou väčšou ako 20 μm ovplyvnia meranie dráhy odrazeného svetla).
3. Profesionálna kalibrácia: Jadro vedecky podloženého udržiavania presnosti
Nastavenie kalibračného cyklu
Konvenčné scenáre použitia: Kalibrujte raz za štvrťrok a použite laserový interferometer na detekciu rovinnosti (s presnosťou ±0,5 μm/m).
Vysokofrekvenčné použitie alebo náročné prostredie: Mesačná kalibrácia so zameraním na monitorovanie oblastí citlivých na teplotu (ako napríklad okraj plošiny v blízkosti zdrojov tepla).
Spracovanie po kalibrácii
Ak sa zistí odchýlka rovinnosti (napríklad > ±1 μm/m), musí ju prebrúsiť a opraviť odborný technik pomocou mikroprášku W1,5. Samoobrúsenie brúsnym papierom je prísne zakázané.
Po kalibrácii by sa mali údaje zaznamenať a archivovať a mala by sa vytvoriť krivka útlmu presnosti platformy, aby sa v predstihu predpovedali požiadavky na údržbu.
4. Skladovanie a preprava: Zabráňte skrytým stratám presnosti
Kľúčové body pre dlhodobé skladovanie
Pri skladovaní by mala byť prikrytá krytom odolným voči vlhkosti a prachu. Spodná časť by mala byť podopretá tromi bodmi (bod opory sa nachádza v 2/9 dĺžky plošiny), aby sa zabránilo deformácii v ohybe spôsobenej gravitáciou (1-metrová plošina sa môže v dôsledku dlhodobého podopretia v jednom bode prehnúť o 0,3 μm).
Pravidelne (mesačne) presúvajte polohu oporných bodov plošiny, aby ste predišli dlhodobému lokálnemu tlaku.
Plán ochrany dopravy
Preprava na krátke vzdialenosti: Zabaľte do peny tlmiacej nárazy, upevnite v pevnom ráme a udržujte zrýchlenie do 2g.
Diaľková preprava: Musí byť vákuovo zabalené a naplnené suchým dusíkom. Po doručení by sa malo nechať 24 hodín stáť, kým sa teplota nevyrovná, a potom sa rozbaliť, aby sa zabránilo ovplyvneniu presnosti kondenzáciou.
5. Predikcia porúch: Techniky na identifikáciu včasných problémov
Vizuálna kontrola: Pravidelne kontrolujte povrch pomocou 40-násobnej lupy. Ak zistíte súvislé škrabance alebo výrazný pokles lesku, môže to znamenať zníženie presnosti.
Detekcia zvuku: Jemne poklepte na plošinu. Ak sa zvuk stane chrapľavým (normálne by mal byť čistý), vo vnútri sa môžu nachádzať mikrotrhliny. Okamžite prestaňte plošinu používať, aby ste ju mohli používať.
Vďaka tomuto systému údržby si žulová plošina ZHHIMG® dokáže udržať rovinnosť ±1 μm/m po dobu 10 rokov, čo je viac ako trikrát dlhšie ako presná životnosť plošín, ktoré nie sú riadne udržiavané. Prax ukázala, že po prijatí tohto riešenia v určitej továrni na výrobu polovodičov sa frekvencia kalibrácie plošiny znížila o 50 % a ročné náklady na údržbu sa ušetrili o viac ako 150 000 juanov.
Čas uverejnenia: 18. júna 2025