Revolúcia v presnosti rezania doštičiek! Ako udržať polohu ±5 μm pre žulový podstavec?

V rozhodujúcej bitke o „nanopresnosť“ pri výrobe polovodičov môže aj najmenšia chyba v zariadení na rezanie doštičiek premeniť čip na odpad. Žulová základňa je neospevovaným hrdinom, ktorý riadi presnosť opakovaného polohovania ±5 μm a prepisuje pravidlá presnej výroby so svojimi tromi prírodnými divmi.

„Stabilizačná kotva“ proti tepelnej deformácii: Koeficient tepelnej rozťažnosti žuly je len 5 – 7 × 10⁻⁶/℃, čo je len tretina koeficientu kovových materiálov. Pri tepelnom náraze spôsobenom vysokorýchlostnou prevádzkou zariadenia na rezanie doštičiek sa bežné materiály deformujú v dôsledku tepelnej rozťažnosti a sťahovania, čo spôsobuje posun polohy reznej hlavy. Žulová základňa však môže zostať „nehybná“, čím sa zásadne eliminuje odchýlka polohy spôsobená tepelnou deformáciou a vytvára sa pevný základ pre presnosť.

„Tichý štít“ absorpcie vibrácií: Neustály hluk obrábacích strojov a nepretržité vibrácie zariadení v dielni možno považovať za „smrteľných zabijakov“ presnosti. Unikátna kryštalická štruktúra žuly je ako prirodzený tlmič nárazov, schopný rýchlo premieňať vonkajšie vibrácie a mechanické vibrácie generované prevádzkou zariadenia na tepelnú energiu na rozptyl. Zatiaľ čo iné základne sa v dôsledku vibrácií stále „kývajú“, žulová základňa vytvorila stabilnú platformu pre reznú hlavu, ktorá zostáva nehybná, čo umožňuje presnosť ±5 μm.

Odolná voči korózii „večná pevnosť“: Dielne polovodičových výrobkov sú plné korozívnych látok, ako sú leptacie roztoky a kyslé a alkalické čistiace prostriedky. V takomto prostredí kovové základne postupne hrdzavejú a deformujú sa. Žula so svojou inherentnou chemickou stabilitou s týmito chemickými látkami vôbec nereaguje. Bez ohľadu na to, koľko rokov sa používa, dokáže si zachovať štrukturálnu integritu a neustále zabezpečovať vysoko presné rezanie.

Od materiálového talentu až po ultra presné spracovanie, žulová základňa svojou silou preukázala, že nie všetky materiály dokážu splniť náročné požiadavky výroby polovodičov. Práve vďaka týmto nenahraditeľným prírodným výhodám sa žulové základne stali kľúčom k zariadeniam na rezanie doštičiek, aby sa dosiahla presnosť opakovaného polohovania ±5 μm, a ďalej viedli polovodičový priemysel k neustálemu smerovaniu k vyššej presnosti!

presná žula14


Čas uverejnenia: 14. mája 2025