Keďže polovodičový priemysel agresívne presadzuje procesné uzly s technológiou menšou ako 2 nm, priestor pre mechanické chyby prakticky zmizol. V tomto prostredí s vysokými stávkami už stabilita procesnej komory nie je druhoradéou starosťou; je to primárne úzke hrdlo pre výnos. V spoločnosti ZHHIMG pozorujeme zásadný posun v tom, ako globálni výrobcovia originálnych dielov (OEM) pristupujú k štrukturálnej integrite polovodičových investičných zariadení.
Fyzika ticha: Pokročilé techniky tlmenia vibrácií
V modernej výrobe doštičiek sú vibrácie, ktoré sa kedysi považovali za „šum pozadia“, teraz katastrofálne. Či už ide o mikrooscilácie zo systému HVAC zariadenia alebo o vnútornú zotrvačnosť vysokorýchlostného skenovacieho stola, nekontrolovaná energia sa priamo premieta do chýb prekrývania a rozmazaných vzorov.
Súčasné techniky tlmenia vibrácií vo výrobe polovodičov sa vyvinuli do viacvrstvovej architektúry. Zatiaľ čo pasívne tlmenie – využívanie materiálov s vysokou hmotnosťou, ako sú minerálne odliatky alebo presná žula – zostáva základom, pozorujeme nárast integrácie aktívneho tlmenia.
Aktívne systémy využívajú piezoelektrické aktuátory a senzory v reálnom čase na „rušenie“ vibrácií generovaním protifrekvencií. Účinnosť aktívnych systémov je však inherentne obmedzená tlmiacim pomerom základného materiálu. Tu sa odborné znalosti spoločnosti ZHHIMG v oblasti vysoko tlmiacich konštrukčných materiálov stávajú kľúčovými. Kombináciou aktívnej elektroniky s prirodzene inertným žulovým alebo kompozitným základom poskytujeme „tichú zónu“, kde môže dochádzať k nanopolohovaniu bez rušenia.
Vzostup beztriaceho pohybu: Technológia vzduchových ložísk
Dopyt po vyššej priepustnosti posunul tradičné mechanické ložiská na ich hranice. Trenie vedie k zahrievaniu a teplo vedie k tepelnej rozťažnosti – nepriateľovi presnosti. To viedlo k širokému prijatiu...technológia vzduchových ložísk pre presné stolíky.
Vzduchové ložiská podopierajú zaťaženie na tenkej vrstve stlačeného vzduchu, zvyčajne hrubej len niekoľko mikrónov. Pretože nedochádza k fyzickému kontaktu, nedochádza k žiadnemu statickému treniu (priľnutiu). To umožňuje:
-
Pohyb bez hysterézie: Zabezpečenie, aby sa stolík zakaždým vrátil do presne rovnakej nanometrovej súradnice.
-
Konštantnosť rýchlosti: Kritická pre skenovacie aplikácie, ako je kontrola elektrónovým lúčom, kde by aj najmenšie „zubovanie“ mechanického ložiska skreslilo obraz.
-
Extrémna dlhá životnosť: Keďže sa nepoužívajú žiadne dotýkajúce sa časti, nedochádza k opotrebovaniu ani tvorbe častíc, vďaka čomu sú ideálne pre prostredie čistých priestorov triedy 1.
V spoločnosti ZHHIMG vyrábame ultra ploché žulové povrchy, ktoré slúžia ako vodiace dráhy pre tieto vzduchové ložiská. Aby tieto povrchy správne fungovali, musia byť lapované do rovinnosti meranej v zlomkoch vlnovej dĺžky svetla.
Trendy v oblasti kapitálových zariadení pre polovodiče: rok 2026 a ďalšie roky
Ako sa blížime k roku 2026,trendy v polovodičových kapitálových zariadeniachsú charakterizované „tromi piliermi“: modularizácia, udržateľnosť a tepelná regulácia.
-
Modulárny dizajn platformy: Výrobcovia originálnych dielov (OEM) hľadajú základné moduly typu „plug-and-play“. Namiesto navrhovania novej základne pre každý nástroj využívajú štandardizované presné základne ZHHIMG, ktoré je možné prispôsobiť pre litografiu, metrológiu alebo leptanie.
-
Tepelný manažment: Keďže zdroje EUV (extrémne ultrafialové) žiarenie generujú obrovské teplo, základňa stroja musí fungovať ako masívny chladič. Integrujeme komplexné chladiace kanály priamo do našich minerálnych a žulových komponentov, aby sme udržali deltu $<0,01^\circ\text{C}$.
-
Kompatibilita s vákuom: Keďže sa čoraz viac procesov presúva do prostredia s vysokým vákuom, použité materiály musia mať nulové uvoľňovanie plynov. Naše špecializované spracovanie žuly a keramiky zaisťuje, že integrita vákua nikdy nebude ohrozená základovou konštrukciou.
Strategické partnerstvo so spoločnosťou ZHHIMG
Spoločnosť ZHHIMG nie je len výrobcom komponentov; sme strategickým partnerom v dodávateľskom reťazci riadenia pohybu. Naše zariadenie v Číne úzko spolupracuje s inžinierskymi tímami v Silicon Valley a Eindhovene s cieľom riešiť najťažšie problémy so stabilitou v tomto odvetví.
Využitím našich vlastných techník lapovania a nášho hlbokého pochopeniatechniky tlmenia vibrácií, umožňujeme našim klientom posúvať hranice Moorovho zákona. Či už vyvíjate nástroj ALD (Atomic Layer Deposition) novej generácie alebo vysokorýchlostný sondážny prístroj na wafery, základy začínajú so ZHHIMG.
Záver
Vývoj výroby polovodičov je pretekmi proti zákonom fyziky. S blížiacim sa rokom 2026 sa zameranie na presnosť vzduchových ložísk a pokročilé tlmenie bude len zintenzívniť. Udržať si náskok pred týmito trendmi si vyžaduje základ – doslova aj obrazne – založený na odborných znalostiach a inováciách.
Čas uverejnenia: 26. januára 2026